[发明专利]半导体图像传感器模块及其制造方法无效
申请号: | 200680026625.9 | 申请日: | 2006-06-01 |
公开(公告)号: | CN101228631A | 公开(公告)日: | 2008-07-23 |
发明(设计)人: | 岩渊信;元吉真 | 申请(专利权)人: | 索尼株式会社 |
主分类号: | H01L27/14 | 分类号: | H01L27/14;H01L27/00;H01L27/10;H01L27/146;H04N5/335 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 马高平 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体 图像传感器 模块 及其 制造 方法 | ||
1.一种半导体图像传感器模块,其特征在于,层合有第一半导体芯片和第二半导体芯片,
所述第一半导体芯片,其具备把多个像素规则配列且所述各像素由光电转换元件和晶体管构成的图像传感器;
所述第二半导体芯片,其具备由多个模/数转换器构成的模/数转换器阵列。
2.如权利要求1所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,进一步层合了第三半导体芯片,该第三半导体芯片至少具备包括编码器和读出放大器的存储器元件阵列。
3.如权利要求2所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,使多个光电转换元件和多个存储器元件以共有一个模/数转换器的方式把所述第一和第二半导体芯片相对于所述第三半导体芯片接近配置。
4.如权利要求3所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,所述存储器元件是易失性存储器。
5.如权利要求3所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,所述存储器元件是浮动栅型非易失性存储器。
6.如权利要求3所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,所述存储器元件是MONOS型非易失性存储器。
7.如权利要求3所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,所述存储器元件是取多值的非易失性存储器。
8.如权利要求2所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,所述存储器元件阵列中具有奇偶校验用存储位。
9.如权利要求2所述的半导体图像传感器模块,其特征在于,所述存储器元件阵列中具有缺陷救济用预备位。
10.一种半导体图像传感器模块,其特征在于,层合有第一半导体芯片和第四半导体芯片,
所述第一半导体芯片,其具备把多个像素规则配列且所述各像素由光电转换元件和晶体管构成的图像传感器;
所述第四半导体芯片,其具备由多个模拟型非易失性存储器构成的模拟型非易失性存储器阵列,
其中,利用所述模拟型非易失性存储器来记忆根据积蓄电荷量的信息量。
11.一种半导体图像传感器模块的制造方法,其特征在于,包括:形成第一半导体芯片的工序,该第一半导体芯片具备把各像素由光电转换元件和晶体管构成的多个像素二维规则配列的图像传感器;
形成第二半导体芯片的工序,该第二半导体芯片具备由多个模/数转换器构成的模/数转换器阵列;
把所述第一半导体芯片与所述第二半导体芯片层合,并且以倒置并且利用凸出接合或者利用相对LSI芯片垂直贯通晶片的通孔连接所述图像传感器的像素与所述模/数转换器的工序。
12.如权利要求11所述的半导体图像传感器模块的制造方法,其特征在于,
具有形成第三半导体芯片的工序,该第三半导体芯片至少具备编码器和读出放大器的存储器元件阵列,
且具有把所述第一半导体芯片、所述第二半导体芯片和所述第三半导体芯片层合,而把所述图像传感器的像素通过所述模/数转换器而与所述存储器连接的工序,该连接工序由相对晶片面垂直贯通晶片的通孔进行连接。
13.一种半导体图像传感器模块的制造方法,其特征在于,包括:形成第一半导体芯片的工序,该第一半导体芯片具备把各像素由光电转换元件和晶体管构成的多个像素二维规则配列的图像传感器、
形成第四半导体芯片的工序,该第四半导体芯片具备由多个模拟型非易失性存储器构成的模拟非易失性存储器阵列、
把所述第一半导体芯片与所述第四半导体芯片层合而连接所述图像传感器的像素与所述模拟型非易失性存储器的工序。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的