[发明专利]图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成方法，其特征在于，

将支撑体上具有感光层的图案形成材料中的该感光层层叠于被处理基体上，然后，至少包括：使用曝光头，使该曝光头沿扫描方向相对移动，对该感光层进行曝光的步骤，

所述曝光头是具有光照射机构、及具有接受来自所述光照射机构的光并射出的n个(其中，n为2以上的自然数)排列为二维状的描绘部，且能够根据图案信息控制所述描绘部的光调制机构的曝光头，且所述描绘部的列方向配置为与该曝光头的扫描方向呈规定的倾斜角度，

该曝光中，设定如下所述的(a)、(b)、(c)、(d)中的至少任一个，使得在与所述图案信息对应的描绘图案中，用由所述描绘部形成的描绘像素再现而生成的锯齿的锯齿间距及锯齿振幅的至少任一个成为规定值以下：

(a)由邻接的所述描绘部形成的所述描绘像素的排列间距；

(b)由多个所述描绘像素构成的二维状描绘像素组的相对所述扫描方向的倾斜角度；

(c)所述扫描方向上的所述描绘像素的扫描间距；及

(d)在与所述扫描方向大致正交的方向上邻接而形成的所述描绘像素的所述扫描方向上的描绘位置的相位差，

并且，基于所述图案信息以规定的时刻调制控制所述描绘部。

2.根据权利要求1所述的图案形成方法，其中，

光调制机构是空间光调制元件。

3.根据权利要求权利要求1或2所述的图案形成方法，其中，

空间光调制元件是数字微透镜元件(DMD)。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的图案形成方法，其中，

使用具备描绘像素组旋转机构、描绘放大倍数变更机构、描绘时刻变更机构、移动速度变更机构、及相位差变更机构的至少任一个的曝光装置进行曝光。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的图案形成方法，其中，

利用描绘像素组旋转机构，使曝光头的整体、及光调制机构的任一个旋转，改变倾斜角度(b)。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的图案形成方法，其中，

利用描绘放大倍数变更机构，改变在感光层的被曝光面上形成的描绘像素的描绘放大倍数，调节排列间距(a)、及描绘间距(c)的任一个。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的图案形成方法，其中，

利用描绘时刻变更机构，改变利用描绘部向感光层的被曝光面上描绘的描绘时刻，调节描绘间距(c)。

8.根据权利要求1～4中任一项所述的图案形成方法，其中，

利用移动速度变更机构，改变相对感光层的被曝光面的曝光头的相对移动速度，调节描绘间距(c)。

9.根据权利要求1～4中任一项所述的图案形成方法，其中，

利用相位差变更机构，改变邻接的描绘部的调制控制的时刻的相位差，改变相位差(d)。

10.根据权利要求1～9中任一项所述的图案形成方法，其中，

根据描绘图案，设定排列间距(a)、倾斜角度(b)、描绘间距(c)、及相位差(d)的至少任一个。

11.根据权利要求1～10中任一项所述的图案形成方法，其中，

根据描绘图案的相对扫描方向的倾斜角度，设定排列间距(a)、倾斜角度(b)、描绘间距(c)、及相位差(d)的至少任一个。

12.根据权利要求1～11中任一项所述的图案形成方法，其中，

设定排列间距(a)、倾斜角度(b)、描绘间距(c)、及相位差(d)的至少任一个，以使在与扫描方向正交或大致正交的方向的描绘图案中生成的锯齿的锯齿间距及锯齿振幅的任一个成为规定值以下。