[发明专利]制造探针卡的方法及装置

权利要求书

1.一种制造探针卡的方法，包括

制备多个探针模块，其包括牺牲基底以及该牺牲基底上的探针；

使该探针模块互相对齐以形成具有所需尺寸的探针模块组件；及

将该探针模块组件附接至探针基板。

2.如权利要求1所述的方法，其中制备该探针模块包括：

在该牺牲基底上形成该探针；及

切割该具有探针的牺牲基底。

3.如权利要求1所述的方法，其中制备该探针模块包括：

切割该牺牲基底；

及在该已切割的牺牲基底上形成该探针。

4.如权利要求1所述的方法，其中该探针模块组件为圆形板的形状或多边形板的形状。

5.如权利要求1所述的方法，其中将该探针模块组件附接至该探针基板包括：

在该探针基板上形成凸点；

在该凸点上形成焊膏；及

将该凸点接合至该探针。

6.如权利要求1所述的方法，在将该探针模块组件附接至该探针基板之后，还包括去除该牺牲基底。

7.如权利要求1所述的方法，其中该牺牲基底包括硅晶片，并且该探针基板包括空间转换器或印刷电路板。

8.一种制造探针卡的方法，包括：

制备多个探针模块，其包括牺牲基底以及该牺牲基底上的探针；

将该探针模块放置在夹具上；

使该探针模块相互对齐；

固定该已对齐的探针模块以形成探针模块组件；

将该探针模块组件装入接合装置；及

同时将该探针模块组件的探针接合至探针基板的凸点。

9.如权利要求8所述的方法，其中利用真空来固定该探针模块。

10.如权利要求8所述的方法，其中在固定该探针模块之前，还包括将该探针模块中的任意一个固定为基准探针模块。

11.如权利要求8所述的方法，其中装载该探针模块组件包括：

将该探针模块组件固定至该夹具的固定板；

将该探针模块组件及该固定板从该夹具分离；及

同时将该探针模块组件及该固定板装入该接合装置中。

12.如权利要求8所述的方法，其中在将该探针接合至该凸点之后，还包括蚀刻该牺牲基底以将该牺牲基底从该针模块组件去除。

13.一种用于制造探针卡的装置，包括

底板；

放置在该底板上的夹具；

可拆卸地放置在该夹具上的固定板；

使该固定板上的探针模块互相对齐的对齐单元；及

将该已对齐的探针模块固定至该固定板的固定单元。

14.如权利要求13所述的装置，其中该夹具具有用于支撑该固定板的台阶部。

15.如权利要求13所述的装置，其中该固定板具有使该探针模块上形成真空的真空孔。

16.如权利要求15所述的装置，其中该固定板还包括该真空孔位于其中的真空槽。

17.如权利要求13所述的装置，其中该对齐单元放置在该底板上三个与该固定板的三个角相对应的位置。

18.如权利要求13所述的装置，其中该对齐单元包括：

本体；

可移动地放置在该本体上方的固定条；

设置在该本体上的使该固定条沿X轴方向移动的X轴条；

设置在该本体上的使该固定条沿Y轴方向移动的Y轴条；

设置在该本体上的使该固定条绕θ轴方向转动的θ轴条。

19.如权利要求18所述的装置，其中该固定条为L形，并且该固定板的内表面上形成有穿通的真空孔，所述真空孔用于使该探针模块上形成真空。

20.如权利要求13所述的装置，其中该固定单元包括位于该固定板下方的真空线以使该探针模块上形成真空。

21.如权利要求13所述的装置，还包括安装在底板上的推动单元以将该固定板的一角推向该底板的中央。

22.如权利要求21所述的装置，其中该推动单元包括：

具有槽的本体；

可移动地插入该槽以推动该固定板的杆；及

可选择地固定该槽中该杆的位置的螺钉。