[发明专利]利用微柱检验精细图案和形态的检验设备

权利要求书

1.一种检验设备，该检验设备包括：

多个微柱；

至少一个第一检验单元，其用于高速检验对象，所述第一检验单元包括杆以及电子检测单元，所述杆结合有所述微柱并且沿着与对象运动方向垂直的方向布置，所述电子检测单元用于检测从所述微柱辐射到对象上的电子束以确定所述对象中是否存在故障；以及

至少一个第二检验单元，其设置在所述第一检验单元后方以精确检验对象的存在故障的部分，所述第二检验单元包括可沿X和Y方向运动的活动杆以及结合到该活动杆上的微柱。

2.根据权利要求1所述的检验设备，其中，设置在所述第二检验单元中的微柱执行精确的检验处理和修复处理，并且所述第二检验单元还包括用于修复的活动杆，从而精确地检验和修复对象的存在故障的部分。

3.根据权利要求1或2所述的检验设备，其中，各个微柱可沿X、Y和Z轴方向运动并可倾斜。

4.根据权利要求1或2所述的检验设备，其中，各微柱均包括多微柱、单个微柱的组合、或者多微柱与单个微柱的组合。

5.根据权利要求1至4所述的检验设备，其中，所述电子检测单元包括多个电子检测单元，每个电子检测单元对应于若干微柱，并且所述电子检测单元在相关微柱顺序操作的同时检测电子。

6.根据权利要求1至4所述的检验设备，其中，所述电子检测单元利用样品电流方法执行检测处理。

7.根据权利要求1至6所述的检验设备，其中，所述微柱和所述对象相对于彼此运动，或者仅所述微柱运动以检验或修复所述对象。

8.根据权利要求1至7所述的检验设备，其中，各所述微柱包括电子发射源、源透镜和偏转器，或者包括电子发射源和具有偏转器功能的源透镜。