[发明专利]脆性材料基板分割装置及分割方法

权利要求书

1.一种脆性材料基板分割装置，其特征在于，具有分割机构和分割面分离机构，

该分割机构在表面预先形成有利用垂直裂缝形成的划线的脆性材料基板的该划线附近部分，施加可沿着该划线相对移动的压力，使上述垂直裂缝伸展到上述脆性材料基板的背面，从而将该脆性材料基板分割成第一基板部分和第二基板部分；

该分割面分离机构与上述第一基板部分的表面和背面抵接，使上述第一基板部分向该第一基板部分的分割面从上述第二基板部分的分割面分离的方向移动。

2.如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，

上述分割面分离机构具有第一辊和第二辊，

该第一辊通过压接于上述第一基板部分的表面而发生弹性变形，通过在该第一基板部分的表面滚动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；

该第二辊与上述第一辊夹着上述第一基板部分相对配置，通过压接于该第一基板部分的背面而发生弹性变形，通过在该第一基板部分的背面滚动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。

3.如权利要求2所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上述第一辊和上述第二辊各自的直径从轴向的一侧向另一侧逐渐增加，并且各自的直径减小的部分邻近上述分割面配置。

4.如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上述分割面分离机构具有第一辊和第二辊，

该第一辊配置成，垂直于旋转轴的方向在上述压力的移动方向的前方侧与上述划线以锐角相交，该第一辊通过在该前述一基板部分的表面上滚动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；

该第二辊配置成，与该第一辊夹着上述第一基板部分相对，并且平行于该第一辊，该第二辊通过在上述第一基板部分的背面滚动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。

5.如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上述分割面分离机构具有第一带式输送机构和第二带式输送机构，

该第一带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上卷绕环状的带，该带的厚度从宽度方向的一侧缘向另一侧缘逐渐变厚，并且薄的侧缘邻近上述分割面配置，上述带通过压接于上述第一基板部分的表面而发生弹性变形，通过该带的循环移动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；

该第二带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上卷绕环状的带，该带的厚度从宽度方向的一侧缘向另一侧缘逐渐变厚，并且薄的侧缘邻近上述分割面配置，上述带通过压接于上述第一基板部分的背面而发生弹性变形，通过该带的循环移动而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。

6.如权利要求1所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，

上述分割面分离机构具有第一带式输送机构和第二带式输送机构，

该第一带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上卷绕环状的带，并且配置成，垂直于上述各旋转轴的方向在上述压力的移动方向的前方侧与上述划线以锐角相交，上述带在压接于上述第一基板部分的表面的状态下循环移动，从而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力；

该第二带式输送机构在各自的旋转轴平行的多个车轮上卷绕环状的带，该第二带式输送机构与上述第一带式输送机构夹着上述第一基板部分相对地配置，上述带在压接于上述第一基板部分的背面的状态下循环移动，从而产生使上述第一基板部分从上述第二基板部分分离的力。

7.如权利要求1至6中任一项所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上述分割面分离机构与上述第二基板的表面和背面抵接，能使上述第二基板部分向该第二基板部分的分割面从上述第一基板部分的分割面分离的方向移动。

8.如权利要求7所述的脆性材料基板分割装置，其特征在于，上述分割面分离机构具有第一辊和第二辊，

该第一辊通过压接于上述第一基板部分和上述第二基板部分的表面而发生弹性变形，通过其旋转而产生使上述第一基板部分和上述第二基板部分彼此分离的力；

该第二辊通过压接于与该第一辊压接的上述第一基板部分和上述第二基板部分的表面相对应的背面部分而发生弹性变形，通过其旋转而产生使上述第一基板部分和上述第二基板部分彼此分离的力。