[发明专利]用于蒸发器体的初始润湿辅助材料

权利要求书

1.一种初始润湿辅助材料，所述辅助材料用于施加到可电加热的陶瓷蒸发器体(1)的蒸发器表面上，所述蒸发器体(1)用于在PVD敷金属装置中运行以蒸发铝并且含有作为材料成分的氮，所述氮优选为氮化硼的形式，所述辅助材料包含干燥或悬浮形式的块体形式和/或层状材料和/或粉末材料的形式的至少两种材料成分：

所述至少两种材料成分包含：

作为第一材料成分的铝，条件是：所述铝在所述蒸发器体(1)开始运行之后在所述蒸发器体加热过程中，在所述蒸发器表面上可熔并且能够在熔融状态与所述蒸发器体(1)中的所述氮反应，由此在所述蒸发器表面上形成氮化铝层，以及

作为第二材料成分的润湿剂，条件是：所述润湿剂能够促使所述熔融的铝在所述蒸发器表面上形成均匀的、大的表面分布。

2.根据权利要求1所述的初始润湿辅助材料，其还包含粘合剂，通过所述粘合剂可将所述初始润湿辅助材料粘结固定到所述蒸发器表面上。

3.根据权利要求1或2所述的初始润湿辅助材料，其还包含材料成分锡，其中所述锡以单质形式或键合形式存在。

4.根据权利要求1～3之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述润湿剂含有至少30wt％、优选至少40wt％的作为材料成分的锆、钼、钛或其组合，其中所述成分以单质形式或键合形式优选作为硼化物或硅化物存在于所述润湿剂中。

5.根据权利要求1～4之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述润湿剂为二硼化钛、钛、二硼化锆、锆、二硅化钛、二硅化锆、二硅化钼、钼或二钛化硅亚铁(FeSiTi₂)。

6.根据权利要求1～5之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述润湿剂形成为粉末，优选为粒径小于或等于0.2mm的粉末。

7.根据权利要求3和6所述的初始润湿辅助材料，其中所述锡以最大粒径为0.02～0.06mm、优选为0.045mm的粉末形式提供，并加到所述润湿剂中。

8.根据权利要求1～7之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝形成为粉末，优选为粒径小于或等于0.5mm的粉末。

9.根据权利要求1～7之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝形成为厚度为0.01～4mm的铝箔或铝片，优选厚度为0.01～0.1mm的铝箔或厚度为0.2～0.3mm的铝片。

10.根据权利要求6和9所述的初始润湿辅助材料，其中将所述润湿剂辊压到所述铝箔或所述铝片上。

11.根据权利要求7和9所述的初始润湿辅助材料，其中将所述润湿剂和锡粉末的混合物辊压到所述铝箔或所述铝片上。

12.根据权利要求1～5之一项所述的初始润湿辅助材料，其中所述铝形成为铝合金的箔或片，所述铝合金除含有铝之外还含有作为合金成分的所述润湿剂。

13.根据权利要求12所述的初始润湿辅助材料，其中所述合金除含有铝和所述润湿剂之外还含有作为另外合金成分的锡。

14.根据权利要求6和8所述的初始润湿辅助材料，其中将所述铝与所述润湿剂混合以形成粉末混合物。

15.根据权利要求7和8所述的初始润湿辅助材料，其中将与所述润湿剂和锡的混合物与所述铝混合以形成粉末混合物。

16.根据权利要求14和15所述的初始润湿辅助材料，其形成为液态粘合剂的悬浮体，所述液态粘合剂优选为有机粘合剂或蜡，所述粉末混合物分散在所述液态粘合剂中。

17.根据权利要求1～7和9之一项所述的初始润湿辅助材料，其形成为双层(2)，所述双层(2)包含有机丙烯酸酯粘合剂和所述润湿剂以及优选的锡粉末的混合物的第一层(I)，和铝或铝合金的第二层(II)，其中优选所述第二层(II)的厚度大于所述第一层(I)的厚度。