[发明专利]排气装置压力控制系统有效
申请号: | 200680028941.X | 申请日: | 2006-06-27 |
公开(公告)号: | CN101238422A | 公开(公告)日: | 2008-08-06 |
发明(设计)人: | 南部正博 | 申请(专利权)人: | 先进能源工业公司 |
主分类号: | G05D16/20 | 分类号: | G05D16/20;H01L21/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 蔡胜利 |
地址: | 美国科*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 排气装置 压力 控制系统 | ||
1.一种排气装置压力控制系统,包括:
主体,其中所述主体包含先导控制室,在其中形成进气端口和排气端口;以及柱塞,其中所述柱塞包含上侧滑块和下侧滑块;
所述主体的柱塞通过弹簧连接至所述主体的上侧部分,并且通过所述上侧滑块和所述下侧滑块被保持成,所述柱塞在连接所述进气端口和所述排气端口的滑动表面上沿轴向可以滑动;所述排气装置压力控制系统还包括:
用于检测所述进气端口中的压力的绝对压力传感器、以及用于检测所述进气端口中的压力与大气压力之差的差压传感器;用于将压力调节气体供应至所述先导控制室的控制阀;以及控制电路,其中所述控制电路用于将切换信号发送至所述绝对压力传感器和所述差压传感器,并且基于来自所述绝对压力传感器或差压传感器的输出,驱动所述控制阀。
2.根据权利要求1所述的排气装置压力控制系统,其特征在于,供应至所述先导控制室的所述压力调节气体的一部分设置成用于保护所述绝对压力传感器和所述差压传感器的吹洗气体;所述排气装置压力传感器还包括吹洗气体流道,其中所述吹洗气体流道连接所述先导控制室、所述绝对压力传感器和差压传感器、以及所述进气端口。
3.根据权利要求1所述的排气装置压力控制系统,其特征在于,用于将气体供应至所述主体的内部的气体供应端口与所述绝对压力传感器和差压传感器相连。
4.根据权利要求1所述的排气装置压力控制系统,其特征在于,在所述柱塞的侧向表面中形成通道,用于使得所述柱塞工作平滑的气体供应至所述通道。
5.根据权利要求4所述的排气装置压力控制系统,其特征在于,用于调节所述阀单元的打开程度的气体供应至位于所述进气端口侧的所述柱塞的内部。
6.根据权利要求4或5所述的排气装置压力控制系统,其特征在于,设置流道,以便将权利要求4或5中所述的气体供应至所述通道和位于所述进气端口侧的所述柱塞的内部,并且流经所述流道的气体的一部分设置成用于保护所述绝对压力传感器和差压传感器的吹洗气体;所述排气装置压力控制系统还包括吹洗气体流道,以便连接所述流道、所述绝对压力传感器和差压传感器、以及所述进气端口。
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