[发明专利]精密加工设备和精密加工方法

权利要求书

1.一种精密加工设备，其包括：旋转磨削目标体的第一旋转装置以及支撑所述第一旋转装置的第一支座；旋转砂轮的第二旋转装置以及支撑所述第二旋转装置的第二支座；移动装置，其用于使所述第一支座和所述第二支座选择性地彼此移近或移离；控制装置，其用于控制所述第一支座和所述第二支座由所述移动装置所移动的量；测量装置，其用于测量所述磨削目标体的厚度和平整度；其特征在于：

所述移动装置包括由丝杠机构形成的第一移动部分和由基于压力控制的致动器形成的第二移动部分，所述移动装置根据情况的需要选择性地使用所述第一移动部分和所述第二移动部分使所述第一支座和所述第二支座相对于彼此移动，并且

所述控制装置构造成基于由所述测量装置获取的测量结果调整所述第一支座和所述第二支座的移动量以获得所述磨削目标体的预定厚度和平整度。

2.如权利要求1所述的精密加工设备，其特征在于，用于控制所述第一旋转装置或所述第二旋转装置的位姿的位姿控制装置置于所述第一旋转装置和所述第一支座之间或所述第二旋转装置和所述第二支座之间；所述位姿控制装置包括在由X轴和Y轴形成的平面内延伸的第一板构件和平行并隔开于所述第一板构件的第二板构件；在所述两个板构件的对置表面内形成有凹部；在所述第一板构件和所述第二板构件之间置有球体，并且所述球体部分配合在所述两个凹部内；沿垂直于由所述X轴和所述Y轴形成的平面的Z轴方向伸展的第一致动器也置于所述第一板构件和所述第二板构件之间；沿由所述X轴和所述Y轴形成的平面内的适当方向伸展的第二致动器连接到所述第二板构件；所述第二板构件构造成在物体放置到所述第二板构件上时能够相对于所述第一板构件移动；所述球体通过能够弹性变形的粘合剂附连到所述第一板构件和/或所述第二板构件；在所述第一致动器和所述第二致动器两者上设置有压电元件和超磁致伸缩元件；并且所述控制装置构造成：基于由所述测量装置获取的测量结果调整所述第一支座和所述第二支座的移动量和/或所述位姿控制装置的位姿以获得所述磨削目标体的预定厚度和平整度。

3.如权利要求1或2所述的精密加工设备，其特征在于，所述第二移动部分包括多个具有不同压力性能的气动致动器或液压致动器，并且所述第二支座和所述第二旋转装置由所述第二移动部分所致的移动能够用不同的压力选择性地控制。

4.如权利要求1-3中任一项所述的精密加工设备，其特征在于，所述砂轮包括至少一个CMG砂轮。

5.一种精密加工设备，其包括：旋转磨削目标体的第一旋转装置以及支撑所述第一旋转装置的第一支座；旋转砂轮的第二旋转装置以及支撑所述第二旋转装置的第二支座；移动装置，其用于使所述第一支座和所述第二支座选择性地彼此移近或移离；控制装置，其用于控制所述第一支座和所述第二支座由所述移动装置所移动的量；以及测量装置，其用于测量所述磨削目标体的厚度和平整度，其特征在于：

所述移动装置包括由丝杠机构形成的第一移动部分和由基于压力控制的致动器形成的第二移动部分，所述移动装置根据情况的需要选择性地使用所述第一移动部分和所述第二移动部分使所述第一支座和所述第二支座相对于彼此移动；

用于控制所述第一旋转装置或所述第二旋转装置的位姿的位姿控制装置置于所述第一旋转装置和所述第一支座之间或所述第二旋转装置和所述第二支座之间；所述位姿控制装置包括在由X轴和Y轴形成的平面内延伸的第一板构件和平行并隔开于所述第一板构件的第二板构件；在所述两个板构件的对置表面内形成有凹部；在所述第一板构件和所述第二板构件之间置有球体，并且所述球体部分配合在所述两个凹部内；沿垂直于由所述X轴和所述Y轴形成的平面的Z轴方向伸展的第一致动器也置于所述第一板构件和所述第二板构件之间；沿由所述X轴和所述Y轴形成的平面内的适当方向伸展的第二致动器连接到所述第二板构件；所述第二板构件构造成在物体放置到所述第二板构件上时能够相对于所述第一板构件移动；所述球体通过能够弹性变形的粘合剂附连到所述第一板构件和/或所述第二板构件；在所述第一致动器和所述第二致动器两者上设置有压电元件和超磁致伸缩元件；并且所述控制装置构造成：基于由所述测量装置获取的测量结果调整所述第一支座和所述第二支座的移动量和/或所述位姿控制装置的位姿以获得所述磨削目标体的预定厚度和平整度。