[发明专利]用于执行缺陷相关功能的计算机实现的方法

权利要求书

1.一种用于识别检查数据中的噪声的计算机实现的方法，包括：

使用已知用于检测噪声、干扰事件和真实事件的检测参数来检测检查数据集中的事件，其中所述检查数据集是通过对样品进行的不同的检查生成的；以及

将在少于一预定数的数量的所述检查数据集中检测到的事件识别为噪声。

2.如权利要求1所述的方法，还包括从所述检查数据集中消除被识别为噪声的所述事件。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述不同的检查是以相同或不同的数据获取条件进行的。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述不同的检查是以相同或不同的检测参数进行的。

5.一种用于使缺陷入容器的计算机实现的方法，包括：

确定在检查数据集中检测到的缺陷的性质，所述检查数据集是通过对样品进行的不同的检查生成的；以及

基于所述性质和曾在其中检测到所述缺陷的所述检查数据集使所述缺陷入容器为组。

6.如权利要求5所述的方法，还包括对所述组中的所述缺陷进行采样以用于缺陷评估。

7.如权利要求5所述的方法，其中所述不同的检查是以相同的数据获取参数进行的，并且其中所述缺陷是使用相同的检测参数在所述检查数据集中检测到的。

8.如权利要求5所述的方法，其中所述不同的检查是以不同的数据获取参数进行的。

9.如权利要求5所述的方法，其中所述缺陷是使用不同的检测参数在所述检查数据集中检测到的。

10.如权利要求5所述的方法，其中所述不同的检查是以不同的数据获取参数进行的，并且其中所述缺陷是使用不同的检测参数在所述检查数据集中检测到的。

11.如权利要求5所述的方法，其中所述缺陷是以单个检查参数集检测到的，所述方法还包括使用由对所述样本进行的额外检查而生成的数据来确定所述缺陷的额外的性质，其中对所述样本进行的额外检查使用了与所述单个集合的数据获取参数不同的数据获取参数。

12.一种用于在检查系统上选择缺陷以进行缺陷分析的计算机实现的方法，包括：

使缺陷入容器为一个或更多个组，所述入容器操作是基于样品上所述缺陷相互之间的邻近度以及由所述一个或更多个组形成的空间特征标记来进行的；以及

在所述一个或更多个组的至少一个组中选择一个或更多个所述缺陷以进行缺陷分析。

13.如权利要求12所述的方法，其中所述入容器的操作是对检查所生成的数据进行的。

14.如权利要求12所述的方法，其中所述入容器的操作是在评估系统上的光学评估之前进行的。

15.如权利要求12所述的方法，其中所述入容器的操作是在显微镜上的电子显微镜评估之前进行的。

16.如权利要求12所述的方法，其中所述缺陷分析包括创建样本以进行缺陷评估。

17.如权利要求12所述的方法，其中所述缺陷分析包括缺陷分类。

18.如权利要求12所述的方法，其中所述缺陷分析包括创建关于所述入容器操作的结果的报告。

19.如权利要求12所述的方法，还包括确定在所述一个或更多个组中多少缺陷要被选择以进行所述缺陷分析。

20.如权利要求12所述的方法，还包括确定所述一个或更多个组中的任何组是否与已知的根源起因相关联。

21.一种用于选择缺陷以进行缺陷分析的计算机实现的方法，包括：

确定在样品上检测到的缺陷的一个或更多个性质；以及

选择下述缺陷以进行缺陷分析，其中所选缺陷的所述一个或更多个性质具有最大多样性。

22.一种用于选择缺陷评估过程的一个或更多个参数的计算机实现的方法，包括：

确定被选择以进行缺陷评估的缺陷的一个或更多个性质；以及

基于所述一个或更多个性质选择用于所述缺陷评估的过程的一个或更多个参数，从而可以以一个或更多个不同参数评估所述缺陷的不同类型。