[发明专利]用于散射仪的双光束设置

权利要求书

1、一种用于表征样本表面308的光学外观的设备300，所述设备300包括：

上部外壳318，其具有顶表面上中心位置处的第一孔隙310、形成于从所述第一孔隙310偏移的位置处的第二孔隙326以及形成于所述上部外壳318的底部位置处并垂直于所述第一孔隙310的第三孔隙332，所述上部外壳318具有被配置成投影屏316的内表面；

被配置并定位成支撑所述上部外壳318的基底320，所述基底320和所述上部外壳318形成封闭体积312，并且所述基底320具有与所述第一孔隙310相对定位的开口322，使得当靠着所述基底320的外表面定位所述样本表面308时，通过所述第一孔隙310和所述开口322可以看见所述样本表面308的至少一部分；

辅助反射镜328，其设置在所述基底320的内表面上，并与所述第二孔隙326和所述第三孔隙332光学相通；

位于所述封闭体积312之外的辐射源302；

由所述辐射源302产生的第一辐射束304，所述第一辐射束304被沿着第一光路引导，所述第一光路始于所述辐射源302，经过所述第一孔隙310、所述开口322并以一入射角终止于所述样本表面308；

光学成像装置324，位于所述封闭体积312之外，并与所述第二孔隙326和所述辅助反射镜328光学相通；以及

由所述辐射源302在发射所述第一辐射束304的同时发射的第二辐射束330，所述第二辐射束330被沿着第二光路引导，所述第二光路始于所述辐射源302，通过所述第三孔隙332进入所述封闭体积312，通过所述第二孔隙326重新定向并终止于所述光学成像装置324。

2、根据权利要求1所述的设备300，其中，所述第一辐射束304和所述第二辐射束330源自由所述辐射源702产生的初始辐射束704，所述初始辐射束704被引导向分束器710，以将所述初始辐射束704分成所述第一辐射束304和所述第二辐射束330。

3、根据权利要求1所述的设备300，其中，所述第一光路和所述第二光路的一个或多个部分经过光纤细丝502。

4、根据权利要求1所述的设备300，其中，将所述上部外壳318的尺寸设计为半球形穹面，且所述封闭体积为封闭的半球形体积。

5、根据权利要求4所述的设备300，其中，所述第一孔隙310的尺寸被设计为沿从所述顶点到所述基底320的弧的至少一部分的狭缝；且所述第一光路可沿所述第一孔隙310移动，从而可以在0°和90°范围内选择所述入射角。

6、根据权利要求1所述的设备300，其中，所述辐射源302产生可见光辐射束。

7、根据权利要求1所述的设备300，还包括用于定位所述样本表面308的可移动台。

8、根据权利要求1所述的设备300，其中，可以定位所述第一辐射束304，从而在所述样本表面308光学透射时通过所述样本表面308照明，使得所述照明的至少一部分通过所述样本表面308透射并进入所述半球形体积312中。

9、根据权利要求1所述的设备300，还包括由所述辐射源302产生的第三辐射束，引导所述第三辐射束从不和所述第一辐射束304光学相通的一侧照明所述样本表面308，当以透射模式执行对光学外观的表征时采用所述第三辐射束。

10、根据权利要求1所述的设备300，还包括沿所述第三孔隙332的至少一部分定位在所述上部外壳318的所述内表面上的挡板338，所述挡板338被配置成阻止散射辐射314干扰形成所述第二光路的任何光学部件334，336。

11、根据权利要求1所述的设备300，其中，所述辅助反射镜328为凸面镜，定位所述凸面镜以将所述投影屏316的至少一部分反射到所述光学成像装置324。

12、一种用于测量样本表面的光学参数的方法，所述方法包括：

用来自光源302的第一光束304照明605所述样本表面308；

在投影屏316上截取609被所述样本表面308散射的光314；

利用成像装置324对所述投影屏316成像611；以及

将第二光束330引导607到所述成像装置324，所述第二光束330由所述光源302与所述第一光束304同时产生。