[发明专利]具有流体分离元件的热膜空气质量计

权利要求书

1.用于测量以主流动方向(122)流动的空气质量流的热膜空气质量计，尤其是用于安装在内燃机吸气管中，其中，该热膜空气质量计具有一个具有测量表面(114)的传感器芯片(110)，其中，空气质量流基本平行地流到传感器芯片(110)的表面(214)上，其特征在于，具有至少一个参考主流动方向(122)看前置于所述测量表面(114)的流体分离元件(224)，其中，所述至少一个流体分离元件(224)构造得用于使空气质量流在达到测量表面(114)之前在至少一个分离区域(230)中与传感器芯片(110)的表面(214)分离。

2.如前一权利要求所述的热膜空气质量计，其特征在于，所述至少一个流体分离元件(224)具有至少一个隆起，其中，所述至少一个隆起具有至少一个垂直于主流动方向(122)与传感器芯片(110)的表面(214)间隔开的上棱边(226；410)。

3.如前一权利要求所述的热膜空气质量计，其特征在于，所述隆起的上棱边(226；410)垂直于主流动方向(122)与传感器芯片(110)的表面(214)间隔开一个至少15μm、优选至少30μm并且特别优选至少40μm的高度H。

4.如上述权利要求之一所述的热膜空气质量计，其特征在于，所述至少一个流体分离元件(224)具有下列元件中的至少一个：流动墙；线材；辅助板；台阶；凸缘。

5.如上述权利要求之一所述的热膜空气质量计，其特征在于，所述至少一个流体分离元件(224)基本平行于传感器芯片(110)的表面(214)和/或基本垂直于主流动方向(122)延伸。

6.如上述权利要求之一所述的热膜空气质量计，其特征在于，所述测量表面(114)具有至少一个印制导线(128)，其中所述至少一个流体分离元件(224)参考主流动方向(122)看前置于所述至少一个印制导线至少30μm、优选至少50μm且特别优选至少60μm。

7.如上述权利要求之一所述的热膜空气质量计，其特征在于，所述传感器芯片(110)还具有一个包围测量表面(114)的固定表面(112)，其中测量表面(114)与芯片固定区的固定表面(112)之间的过渡部定义一个边界线(118)，其特征在于，所述至少一个流体分离元件(224)参考主流动方向(122)看前置于该边界线(118)最大500μm、优选最大300μm且特别优选最大200μm。

8.如上述权利要求之一所述的热膜空气质量计，附加具有一个芯片载体(310)，其中，传感器芯片(110)被保持在该芯片载体(310)中，其特征在于，所述芯片载体(310)具有一个被空气质量流基本平行地流过的载体表面(314)，其中，传感器芯片(110)以其表面(214)相对于载体表面(314)凹下地置入到芯片载体(310)中，其中在芯片载体(310)与传感器芯片(110)之间的过渡部上在入流侧构成一个棱边(410)。

9.如前一权利要求所述的热膜空气质量计，其特征在于，所述传感器芯片(110)的表面相对于载体表面(314)凹下至少15μm、优选至少30μm且特别优选至少40μm。