[发明专利]用于多腔室工具的臭氧系统

权利要求书

1.一种用于控制臭氧的流量和浓度的系统，该系统包括：

臭氧发生器，所述臭氧发生器包括可连接到气源的可调节气体输入、可调节功率输入以及可连接到多个处理腔室的气体输出，设置多个处理腔室中的每一个以便在受到激励时允许预定的流速通过其中；

流量传感器，用于测量通过多个处理腔室的总流速；

与流量传感器和臭氧发生器进行通信的第一控制器，所述第一控制器用于通过将总流速与预定流速进行比较而确定EVENT(事件)的发生，还用于在EVENT发生时根据存储在查找表中的数据来调节臭氧发生器的可调节功率输入；

浓度传感器，用于测量臭氧发生器的气体输出中的臭氧的浓度水平；以及

与浓度传感器和臭氧发生器进行通信的第二控制器，所述第二控制器用于在EVENT发生之后的给定时间处调节所述可调节功率输入。

2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第二控制器是PID控制器。

3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，EVENT发生之后的给定时间等于或大于PID控制器的稳定时间。

4.如权利要求所述1的系统，其特征在于，所述第二控制器更新存储在查找表中的数据。

5.如权利要求1所述的系统，还包括连接到臭氧发生器的闭环压力控制器。

6.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述可调节气体输入包括至少一个质量流量控制器。

7.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述可调节气体输入包括至少一个质量流量计。

8.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述可调节气体输入包括比率控制设备，用于控制氧源气体和掺杂剂载体气体之间的浓度比。

9.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述第一控制器具有大于预定流速50％的读取范围。

10.一种控制气流的方法，包括：

按某一浓度将气流引入第一腔室；

将气流引入第二腔室；以及

使用预定值来调节气体的生产过程，以致第一腔室中的气体浓度基本上保持不变，并且在一个时间间隔之后第二腔室接收到其浓度与传送到第一腔室的气体浓度基本上相同的气体，所述时间间隔小于约15秒。

11.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述时间间隔小于约10秒。

12.如权利要求10所述的方法，其特征在于，所述气体是臭氧发生器中所产生的臭氧。

13.如权利要求12所述的方法，还包括使用预定值来改变被传送到用于产生臭氧流的臭氧发生器的功率。

14.如权利要求10所述的方法，还包括使用预测控制算法来确定所述预定值。

15.一种控制臭氧流的方法，包括：

按某一浓度将臭氧流引入第一腔室；

将臭氧流引入第二腔室；

在一个时间间隔之后调节被传送到臭氧发生器的功率电平以改变臭氧的生产速率从而使第二腔室中的臭氧浓度维持在与第一腔室中的臭氧浓度基本上相同的数值上；

把所传送的功率电平存储在存储器中；以及

在后续调节期间使用所述功率电平作为参考。

16.一种在包括多个处理腔室的系统中控制臭氧流的方法，包括：

在EVENT发生期间使用预测控制算法来控制臭氧发生器中的臭氧生产过程；

使用PID控制器以便在EVENT发生之后控制臭氧发生器中的臭氧生产过程并且更新在预测控制算法中所使用的数据。

17.如权利要求16所述的方法，其特征在于，所述预测控制算法包括：

根据臭氧的总流量的测量值，确定多个腔室之一的激励事件；

选择与激励事件相对应的功率输出设置；以及

把臭氧发生器中的功率调节到所选择的功率输出设置。