[发明专利]用于制程真空环境的电子诊断的系统及方法

权利要求书

1.一种辨识与一工具有关的真空环境中的一真空品质问题的来源的方法，该方法包括：

收集并储存真空环境资料；

辨识在该真空环境内的一异常现象；

判断在该异常现象很可能发生时的一工具构件的操作状态；以及

根据该异常现象很可能发生时的一真空环境状态与该工具构件的操作状态来判断该真空品质问题的来源。

2.根据权利要求1的方法，其中，该真空环境在一半导体制造工具中。

3.根据权利要求1的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据真空设备状态而定。

4.根据权利要求3的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据该真空环境状态的历史而定。

5.根据权利要求4的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据工具状态的历史而定。

6.根据权利要求5的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据真空设备的历史而定。

7.根据权利要求1的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据该真空环境状态的历史而定。

8.根据权利要求1的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据工具状态的历史而定。

9.根据权利要求1的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据真空设备的历史而定。

10.根据权利要求1的方法，其中，辨识步骤包括分析真空环境历史及工具状态历史。

11.根据权利要求10的方法，其中，分析真空环境历史的步骤包含分析来自由压力上升率、基础压力、基础压力倾向、残留气体分析、操作压力、操作压力历史及压力回复曲线所构成的群组中的一或多个测量。

12.根据权利要求1的方法，其中，该异常现象一基础压力变化。

13.根据权利要求1的方法，其中，该异常现象一压力上升率变化。

14.根据权利要求1的方法，其中，该异常现象的来源于阻碍维修的故障发生前被辨识出来。

15.根据权利要求1的方法，其中，辨识该异常现象及判断该真空品质问题的来源的步骤透过自动资料分析来进行。

16.根据权利要求1的方法，其进一步包括提供该真空品质问题的来源的自动电子通知。

17.根据权利要求1的方法，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据一般性工具操作状态而定。

18.根据权利要求17的方法，其中，该一般性工具操作状态包含由闲置、关闭、合格、抽真空及处理中所构成的群组中的一状态。

19.根据权利要求1的方法，其中，该工具构件的操作状态藉由感测该工具构件的操作状态来判断。

20.根据权利要求1的方法，其中，该工具构件的操作状态可藉由分析该真空环境资料来判断。

21.一种辨识与一工具有关的真空环境中的一真空品质问题的来源的系统，该系统包括至少一电脑，用以：

收集并储存真空环境资料；

辨识在该真空环境内的一异常现象；

判断在该异常现象很可能发生时的一工具构件的操作状态；以及

根据该异常现象很可能发生时的一真空环境状态与该工具构件的操作状态来判断该真空品质问题的来源。

22.根据权利要求21的系统，其中，该真空环境在一半导体制造工具中。

23.根据权利要求21的系统，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据真空设备状态而定。

24.根据权利要求23的系统，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据该真空环境状态的历史而定。

25.根据权利要求24的系统，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据工具状态的历史而定。

26.根据权利要求25的系统，其中，判断该真空品质问题的来源的步骤进一步根据真空设备的历史而定。