[发明专利]用于电子柱的检测器及用于电子柱的电子检测方法有效
| 申请号： | 200680030161.9 | 申请日： | 2006-08-18 |
| 公开（公告）号： | CN101243532A | 公开（公告）日： | 2008-08-13 |
| 发明（设计）人： | 金浩燮 | 申请（专利权）人： | 电子线技术院株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 黄纶伟 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 电子 检测器 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种用于电子柱的检测器，该检测器由一条或更多条导线所形成的网格形式或导电板形状的导电材料制成，而且，该检测器被设置在样本上方使用。
2、根据权利要求1所述的检测器，其中，所述检测器具有由一条导电线形成的二维或三维结构。
3、一种用于检测由电子柱中的电子束所产生的电子的方法，其中，检测器直接检测所述电子，并向外部发送关于检测电子的电流的数据。
4、根据权利要求3所述的方法，其中，所述检测器是权利要求1到2中任何一项所述的检测器中的一种。
5、根据权利要求3所述的方法，其中，使用样本的接线导电部分作为使用样本电流法的检测器以进行检测。
6、根据权利要求5所述的方法，其中，通过向所述样本施加负电压来执行所述检测。
7、根据权利要求3到6中任意一项所述的方法，其中，所述检测器检测来自多个电子柱所产生的电子束的电子，并且所述检测器在所述电子柱依次工作的同时执行检测。
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