[发明专利]流体控制装置

权利要求书

1.一种流体控制装置，其特征在于，具备：

通过控制用流体的压力操作对流体的压力进行控制的流体控制阀；

计测流体的流量、将该流量的计测值变换为电信号并输出的流量计测器；和

基于来自该流量计测器的所述电信号与设定流量的偏差，将用于对所述流体控制阀的开口面积进行控制的指令信号，向所述流体控制阀或者操作该流体控制阀的设备输出的控制部。

2.根据权利要求1所述的流体控制装置，其特征在于，

还具备用于对所述流体的流动进行开放或截断的开闭阀。

3.根据权利要求2所述的流体控制装置，其特征在于，

还具备开口面积能够调节的节流阀。

4.根据权利要求3所述的流体控制装置，其特征在于，

所述阀以及所述流量计测器，不使用独立的连接机构而直接连接。

5.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，

所述阀以及所述流量计测器，配设在一个底座上。

6.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，

所述流体控制阀，具备：

主体，其在下部中央具有开放至底部而设置的第二空隙，并具有与第二空隙连通的入口流路，在上部具有上表面开放而设置、直径比第二空隙的直径大的第一空隙，并具有与第一空隙连通的出口流路、和连通第一空隙与第二空隙、直径比第一空隙的直径小的连通孔，而且将第二空隙的上表面作为阀座；

阀盖，在内部具有与设在侧面或上表面的给气孔和排出孔连通的圆筒状的空隙，在下端内周面上设有台阶部；

弹簧支架，嵌插于阀盖的台阶部中并在中央部具有贯通孔；

活塞，在下端部具有直径比弹簧支架的贯通孔小的第一接合部、在上部设有突缘部、能够上下运动地嵌插在阀盖的空隙内部；

弹簧，由活塞的突缘部下端面和弹簧支架的上端面所夹持支撑；

第一阀机构体，具有第一隔膜，该第一隔膜，边缘部被夹持固定在主体和弹簧支架之间、以覆盖主体的第一空隙的方式而形成第一阀室、并将中央部设得厚；在上表面中央具有贯通弹簧支架的贯通孔而与活塞的第一接合部接合固定的第二接合部；并在下表面中央具有贯通主体的连通孔而设置的第三接合部；

第二阀机构体，具有：位于主体的第二空隙内部、直径比主体的连通孔大的阀芯；在阀芯上端面突出设置、并与第一阀机构体的第三接合部接合固定的第四接合部；从阀芯下端面突出而设置的杆；和从杆下端面向径方向延伸而设置的第二隔膜；

基板，在上部中央具有突出部，该突出部位于主体的下方、在其与主体之间对第二阀机构体的第二隔膜的边缘部进行夹持固定，在突出部的上端部设置切口凹部并设置与切口凹部连通的呼吸孔；

伴随着活塞的上下运动，由第二阀机构体的阀芯与主体的阀座所形成的流体控制部的开口面积变化。

7.根据权利要求4所述的流体控制装置，其特征在于，

所述流体控制阀，

具备：由流体的入口流路、出口流路以及将入口流路和出口流路连通的腔室所构成的主体部，具有阀芯和第一隔膜部的阀部件，和位于阀部件的下部以及上部、与第一隔膜部相比有效受压面积小的第二隔膜部以及第三隔膜部；通过将各隔膜部的外周部固定在主体部上而将阀部件以及各隔膜部安装在腔室内，而且通过各隔膜部将腔室划分为第一加压室、第二阀室、第一阀室以及第二加压室，第一加压室具有对第二隔膜部施加时常向内的一定的力的机构，第一阀室与入口流路连通，第二阀室具有与阀部件的阀芯相对应的阀座，并且分为相对阀座位于第一隔膜部侧并通过设置在第一隔膜部上的连通孔与第一阀室连通的下部第二阀室、和位于第二隔膜部侧并与出口流路连通设置的上部第二阀室，具有通过阀部件的上下运动而使阀芯与阀座之间的开口面积变化从而对下部第二阀室的流体压力进行控制的流体控制部，第二加压室具有对第三隔膜部施加时常向内的一定的力的机构。