[发明专利]三氟化氮的制造方法及其制造装置

权利要求书

1.一种三氟化氮的制造方法，其特征在于，将氟气和氨气供给到管状反应器中，使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂条件下进行反应，生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物，利用安装在上述管状反应器内部的刮取机，来刮取除去附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物。

2.一种三氟化氮的制造方法，其特征在于，将氟气和氨气供给至管状反应器中，使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂条件下进行反应，生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物，利用安装于上述管状反应器上的锤击装置，来除去附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物。

3.一种三氟化氮的制造方法，其特征在于，将氟气和氨气供给至管状反应器中，使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂的条件下进行反应，生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物，利用安装在上述管状反应器的外部的空气式活塞振动器装置，来除去附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物。

4.一种三氟化氮的制造方法，其特征在于，是将氟气和氨气供给至管状反应器中，使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂的条件下进行反应，生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物的三氟化氮的制造方法，使用两个以上的上述管状反应器，并且一边将这两个以上的管状反应器进行切换一边进行上述反应。

5.根据权利要求4所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，利用安装在上述管状反应器上的选自锤击装置、刮取机和空气式活塞振动器装置之中的至少一种装置，来除去附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物。

6.根据权利要求1或5所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，使上述刮取机在上述管状反应器内部在铅直上下方向自如地驱动，从而刮取上述固态生成物。

7.根据权利要求1、5和6的任一项所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，使上述刮取机以通过上述管状反应器的径向断面的中心的铅直轴为中心轴，在该反应器内部自如地旋转，从而刮取上述固态生成物。

8.根据权利要求2或5所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，上述锤击装置是气力抖动器。

9.根据权利要求1～4的任一项所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，上述管状反应器被设置成其长度方向为铅直方向。

10.根据权利要求1～4的任一项所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，上述管状反应器内部的气体流动为铅直向下。

11.根据权利要求1～4的任一项所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，上述稀释气体为选自氮、氦、氩、六氟化硫、六氟代乙烷、八氟代丙烷和三氟化氮之中的至少一种气体。

12.根据权利要求1～4的任一项所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，循环使用稀释气体。

13.根据权利要求1～4的任一项所述的三氟化氮的制造方法，其特征在于，上述反应后，将未反应的氟气采用碱水溶液和/或氧化铝进行处理。

14.一种三氟化氮的制造方法，其特征在于，从被设置成长度方向为铅直方向的管状反应器的上部供给氟气和氨气，使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂的条件下进行反应，生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物，利用安装在上述管状反应器内部的刮取机，来刮取附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物，并利用设置在反应器下部的分离和排出固态成分的装置和过滤器，将该固态生成物从上述气体生成物中除去。

15.一种三氟化氮的制造方法，其特征在于，从被设置成长度方向为铅直方向的管状反应器的上部供给氟气和氨气，使其在稀释气体的存在下、气相中、无催化剂的条件下进行反应，生成主要含有三氟化氮的气体生成物和主要含有氟化铵和/或酸式氟化铵的固态生成物，利用安装在上述管状反应器上的锤击装置，除掉附着在上述管状反应器的内壁的上述固态生成物，并利用设置在反应器下部的分离和排出固态成分的装置和过滤器，将该固态生成物从上述气体生成物中除去。