[发明专利]感光性树脂组合物及感光性组件无效

专利信息
申请号: 200680031281.0 申请日: 2006-07-19
公开(公告)号: CN101253449A 公开(公告)日: 2008-08-27
发明(设计)人: 泽边贤;野尻刚 申请(专利权)人: 日立化成工业株式会社
主分类号: G03F7/023 分类号: G03F7/023;G03F7/004;G03F7/022;H01L21/027
代理公司: 北京银龙知识产权代理有限公司 代理人: 钟晶
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 感光性 树脂 组合 组件
【权利要求书】:

1.一种感光性组合物,其特征为,含有(a)由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物,与(b)1,2-重氮醌化合物。

2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述(a)成分在分子内至少具有1个下述式(A)所示的2价的基,

[化1]

式(A)中,R为羧酸酐残基。

3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述(b)成分为具有羟基及/或胺基的有机化合物与具有磺基及/或磺酰氯基的1,2-重氮醌化合物反应所得的化合物。

4.如权利要求3所述的感光性树脂组合物,其中,所述具有羟基及/或胺基的有机化合物为下述式(1)~(3)中任一所示的化合物,

[化2]

[化3]

[化4]

式(1)~(3)中,R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11及R12分别独立为氢原子、取代或未取代的碳原子数1~5的烷基、或取代或未取代的碳原子数1~5的烷氧基,X为单键、氧原子或亚苯基。

5.如权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(a)成分的酸价为30~150mgKOH/g。

6.如权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,相对于所述(a)成分及所述(b)成分的总量100质量份,所述(a)成分的添加比例为50~95质量份,所述(b)成分的添加比例为5~50质量份。

7.一种感光性组件,其特征为,具备支撑体与在该支撑体上所形成的由权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物构成的感光层。

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