[发明专利]感光性树脂组合物及感光性组件无效
申请号: | 200680031281.0 | 申请日: | 2006-07-19 |
公开(公告)号: | CN101253449A | 公开(公告)日: | 2008-08-27 |
发明(设计)人: | 泽边贤;野尻刚 | 申请(专利权)人: | 日立化成工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/023 | 分类号: | G03F7/023;G03F7/004;G03F7/022;H01L21/027 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 | 代理人: | 钟晶 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 树脂 组合 组件 | ||
1.一种感光性组合物,其特征为,含有(a)由酚醛清漆型酚树脂的酚式羟基与多元酸酐反应所得的化合物,与(b)1,2-重氮醌化合物。
2.如权利要求1所述的感光性树脂组合物,其中,所述(a)成分在分子内至少具有1个下述式(A)所示的2价的基,
[化1]
式(A)中,R为羧酸酐残基。
3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,所述(b)成分为具有羟基及/或胺基的有机化合物与具有磺基及/或磺酰氯基的1,2-重氮醌化合物反应所得的化合物。
4.如权利要求3所述的感光性树脂组合物,其中,所述具有羟基及/或胺基的有机化合物为下述式(1)~(3)中任一所示的化合物,
[化2]
[化3]
[化4]
式(1)~(3)中,R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7、R8、R9、R10、R11及R12分别独立为氢原子、取代或未取代的碳原子数1~5的烷基、或取代或未取代的碳原子数1~5的烷氧基,X为单键、氧原子或亚苯基。
5.如权利要求1至4中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(a)成分的酸价为30~150mgKOH/g。
6.如权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,相对于所述(a)成分及所述(b)成分的总量100质量份,所述(a)成分的添加比例为50~95质量份,所述(b)成分的添加比例为5~50质量份。
7.一种感光性组件,其特征为,具备支撑体与在该支撑体上所形成的由权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物构成的感光层。
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