[发明专利]衍射光学元件及制造方法、使用衍射光学元件的摄像装置

权利要求书

1、一种衍射光学元件，其特征在于，

包括：基材，由含有树脂的第1材料构成，并且包含形成为衍射光栅形状的面；和被覆膜，由含有树脂的第2材料构成，并且与上述面的上述衍射光栅形状部分接触而配置，

从上述第1材料和上述第2材料选择的至少一个材料是包含无机粒子的复合材料。

2、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述无机粒子由从氧化锆、氧化锌和氧化铝中选择的至少一种构成。

3、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述第1材料为上述复合材料，

上述复合材料中所占的上述无机粒子的体积含有率处于5体积百分比以上、且50体积百分比以下的范围。

4、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述第1材料是折射率和阿贝数比上述第2材料高的材料。

5、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述第1材料是折射率和阿贝数比上述第2材料低的材料。

6、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

从上述第1材料和上述第2材料选择的至少一个材料是吸收红外线区域的波长的光的材料。

7、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

从上述第1材料和上述第2材料选择的至少一个材料是吸收紫外线区域的波长的光的材料。

8、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述衍射光栅形状的槽的深度为20μm以下。

9、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述无机粒子的平均粒径在1nm以上、且100nm以下的范围。

10、如权利要求1所述的衍射光学元件，其特征在于，

包含有防反射膜，该防反射膜配置在上述被覆膜的上述衍射栅格形状侧的相反面上，并且由第3材料构成。

11、如权利要求10所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述第3材料是折射率比上述第2材料低的材料。

12、如权利要求10所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述第3材料包含树脂和无机粒子。

13、如权利要求12所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述无机粒子由氧化硅构成。

14、如权利要求12所述的衍射光学元件，其特征在于，

上述无机粒子的平均粒径在1nm以上、且100nm以下的范围。

15、一种摄像装置，其特征在于，

包括：光学系统；摄像元件，接收通过了上述光学系统的来自被摄体的光；以及运算电路，根据由上述摄像元件检测到的信息生成被摄体像；

上述光学系统包含权利要求1～14中任一项所述的衍射光学元件。

16、一种衍射光学元件的制造方法，其特征在于，

上述衍射光学元件包括：基材，由含有树脂的第1材料构成，并且包含形成为衍射光栅形状的面；和被覆膜，由含有树脂的第2材料构成，并且覆盖上述衍射光栅形状，

该制造方法包括：

形成上述基材的工序，上述基材包含形成为上述衍射光栅形状的面；以及

形成上述被敷膜的工序，以便覆盖上述衍射光栅形状，

从上述第1材料和上述第2材料选择的至少一个材料是包含无机粒子的复合材料。

17、如权利要求16所述的衍射光学元件的制造方法，其特征在于，

在上述形成被覆膜的工序中，包括如下的工序：在减压下的气体氛围中，将含有未固化状态的树脂的材料配置成覆盖上述衍射光栅形状，通过提高上述气体氛围的压力，将上述衍射光栅形状和上述材料贴紧，使上述树脂固化。

18、如权利要求16所述的衍射光学元件的制造方法，其特征在于，

上述第1材料是折射率比上述第2材料低的材料，

在形成上述基材的工序中，利用模拟了上述衍射光栅形状的模具形成上述面。