[发明专利]线圈架有效
| 申请号： | 200680032082.1 | 申请日： | 2006-09-01 |
| 公开（公告）号： | CN101253584A | 公开（公告）日： | 2008-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张涛 | 申请（专利权）人： | 纳米束有限公司 |
| 主分类号： | H01F5/02 | 分类号： | H01F5/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 范晓斌 |
| 地址： | 英国*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 线圈 | ||
1.一种叠层式陶瓷线圈架。
2.根据权利要求1所述的线圈架，包括多个陶瓷片，该多个陶瓷片布置成在第一及第二端部之间形成叠层体；每一陶瓷片在其内具有开口，使得当将这些陶瓷片布置成叠层体时，在该第一及第二端部之间限定了通道。
3.一种线圈架，包括多个陶瓷片，该多个陶瓷片布置成在第一及第二端部之间形成叠层体；每一陶瓷片在其内具有开口，使得当将这些陶瓷片布置成叠层体时，在该第一及第二端部之间限定了通道。
4.根据权利要求2或3所述的线圈架，其中，所述陶瓷片共同延伸地布置。
5.根据权利要求2-4中任一项所述的线圈架，其中，所述陶瓷片包括扁平环状盘。
6.根据权利要求2-5中任一项所述的线圈架，其中，每一陶瓷片包括从该开口伸出的至少一对切口，使得当将所述陶瓷片布置成叠层体并且旋转对准时，该叠层体限定了至少一对长型槽以接纳线圈。
7.根据权利要求2-6中任一项所述的线圈架，其中，这些陶瓷片是相同的。
8.根据权利要求2-7中任一项所述的线圈架，其中，这些陶瓷片利用耐热性粘接剂保持在一起。
9.根据权利要求2-8中任一项所述的线圈架，其中，这些陶瓷片利用第一及第二端部之间的夹具保持在一起。
10.根据权利要求2-9中任一项所述的线圈架，其中，所述陶瓷片包括氮化铝。
11.根据权利要求2-10中任一项所述的线圈架，其中，所述陶瓷片的厚度在0.5mm和2mm之间。
12.根据权利要求2-11中任一项所述的线圈架，其中，所述陶瓷片的直径在10mm和50mm之间。
13.根据权利要求2-12中任一项所述的线圈架，包括10-30片陶瓷片。
14.一种用于带电粒子束系统的偏转器单元，包括：
根据前述任意一项权利要求所述的线圈架；及
缠绕在所述线圈架上的至少一个线圈。
15.根据权利要求14的偏转器单元，包括一对线圈，该对线圈布置成在该通道的两侧上彼此沿径向相对。
16.一种制造线圈架的方法，包括：
从陶瓷材料板切取多个陶瓷片，各陶瓷片具有开口；及
将这些陶瓷片布置成使得该多个陶瓷片在第一及第二端部之间形成叠层体，并且在该第一及第二端部之间限定了通道。
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