[发明专利]用于纯化三氟化氮的方法有效
申请号: | 200680032206.6 | 申请日: | 2006-08-31 |
公开(公告)号: | CN101258104A | 公开(公告)日: | 2008-09-03 |
发明(设计)人: | 李荣均 | 申请(专利权)人: | 索迪夫新材料(株) |
主分类号: | C01B21/083 | 分类号: | C01B21/083;C01B21/00;C01B21/04 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人: | 王旭 |
地址: | 韩国庆*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 纯化 氟化 方法 | ||
1.一种用于纯化具有四氟化碳污染物的粗制液体三氟化氮的方法,所述方法包括使所述粗制液体三氟化氮在35至45个大气压的范围的压力下沸腾,以通过汽化将四氟化碳从所述液体三氟化氮中除去。
2.权利要求1所述的方法,其中所述粗制液体三氟化氮的沸腾在-38至-50℃的范围内的温度下进行。
3.权利要求1所述的方法,其中在沸腾过程中,使惰性气体鼓泡通过所述液体三氟化氮。
4.权利要求1所述的方法,其中通过使用填料塔或塔盘,将在所述沸腾过程中汽化的气态四氟化碳收集并且脱气。
5.权利要求1所述的方法,其中所述粗制液体三氟化氮的四氟化碳含量在10至100ppm的范围内。
6.权利要求1所述的方法,其中纯化后,所述液体三氟化氮的四氟化碳含量小于10ppm。
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