[发明专利]二维光子晶体面发光激光光源

权利要求书

1、一种二维光子晶体面发光激光光源，具有：活性层和设置在该活性层一侧的二维光子晶体，其特征在于，

该二维光子晶体由在板状母材内周期性配置多个折射率不同于该母材的异折射率区域而成，所述异折射率区域为具有规定截面形状的柱状且该柱的主轴相对于母材的表面有倾斜。

2、如权利要求1所述的二维光子晶体面发光激光光源，其特征在于，所述异折射率区域为斜圆柱状，相对于母材的表面的垂线而该斜圆柱的主轴的倾斜度为20°～45°。

3、如权利要求1所述的二维光子晶体面发光激光光源，其特征在于，所述异折射率区域是随着从活性层的相反侧的面朝向活性层侧而在母材表面的截面为正三角形的向底边侧倾斜的斜正三角柱状。

4、一种二维光子晶体面发光激光光源，具有：活性层和设置在该活性层一侧的二维光子晶体，其中，

该二维光子晶体通过在板状母材内周期性配置多个异折射率区域集合体而成，该异折射率区域集合体由折射率不同于该母材的多个区域构成且该区域中至少两个的厚度彼此不同。

5、如权利要求4所述的二维光子晶体面发光激光光源，其特征在于，异折射率区域集合体内的各异折射率区域的平面形状彼此不同。

6、如权利要求5所述的二维光子晶体面发光激光光源，其特征在于，所述异折射率区域集合体内的各异折射率区域，其平面形状的面积越大，其厚度越厚。

7、如权利要求6所述的二维光子晶体面发光激光光源，其特征在于，所述异折射率区域集合体由具有略长方形平面形状的第一异折射率区域、和第二异折射率区域构成，该第二异折射率区域：与第一异折射率区域的长边相邻设置，为具有短于该长边的长度的直径的略圆形的平面形状，与第一异折射率区域相比面积更小且厚度更薄。

8、如权利要求4～7中任一项所述的二维光子晶体面发光激光光源，其特征在于，所述异折射率区域集合体内的各区域由空孔构成。

9、一种二维光子晶体面发光激光光源的制造方法，该二维光子晶体面发光激光光源具有活性层和设置在该活性层一侧的二维光子晶体，

该制造方法的特征在于，

在板状的母材上形成多个孔集合体周期性配置后的掩模，该孔集合体由面积不同的两个以上的孔构成，

自该掩模上对该母材进行干蚀刻，在形成于母材中的空孔全部贯穿母材之前结束该干蚀刻，

由此，形成该二维光子晶体。