[发明专利]图案形成材料以及图案形成装置及图案形成方法

权利要求书

1.一种图案形成材料，其特征在于，

具有支撑体和在该支撑体上的感光层，该感光层包含(A)粘合剂、(B)聚合性化合物、(C)光聚合引发剂、(D)杂缩环系化合物、(E)阻聚剂、(F)显色剂以及(G)有机溶剂，

(A)粘合剂的酸值为50～400mgKOH/g，且质均分子量为10,000～100,000，

(B)聚合性化合物包含(b1)具有尿烷基的化合物以及(b2)具有芳基的化合物中的至少一种，

(G)有机溶剂为从酮类、醇类以及醚类中选择的至少一种，而且残存量为0.5质量％以下。

2.根据权利要求1所述的图案形成材料，其中，

(A)粘合剂的I/O值为0.35～0.60。

3.根据权利要求1～2中任意一项所述的图案形成材料，其中，

(B)聚合性化合物包含具有聚环氧烷烃链的化合物，该聚环氧烷烃链具有亚乙基及亚丙基的至少一种。

4.根据权利要求1～3中任意一项所述的图案形成材料，其中，

(D)杂缩环系化合物包含从杂缩环系酮化合物、喹啉化合物以及吖啶化合物中选择的至少一种。

5.根据权利要求1～4中任意一项所述的图案形成材料，其中，

(E)阻聚剂为从至少具有2个酚性羟基的化合物、具有被亚氨基取代的芳香环的化合物、具有被亚氨基取代的杂环的化合物以及位阻胺化合物中选择的至少一种。

6.根据权利要求1～5中任意一项所述的图案形成材料，其中，

进而包含内含具有三烯丙基甲烷骨架的化合物的染料、还原剂以及氢给予体化合物。

7.根据权利要求1～6中任意一项所述的图案形成材料，其中，

(G)有机溶剂为甲基乙基甲酮、环己酮、甲醇、甲基丙二醇以及四氢呋喃的至少一种。

8.根据权利要求6～7中任意一项所述的图案形成材料，其中，

内含具有三烯丙基甲烷骨架的化合物的染料为烯丙基磺酸化合物。

9.根据权利要求6～8中任意一项所述的图案形成材料，其中，

还原剂为1-苯基-3-吡唑烷酮。

10.根据权利要求1～9中任意一项所述的图案形成材料，其中，

对于感光层而言，在曝光该感光层并显影的情况下，使该感光层的曝光部分的厚度在该曝光及显影后不发生变化的、在所述曝光中使用的光的最小能量为0.1～20mJ/cm²。

11.根据权利要求1～10中任意一项所述的图案形成材料，其中，

粘合剂相对碱性水溶液显示溶胀性或溶解性。

12.根据权利要求1～11中任意一项所述的图案形成材料，其中，

粘合剂包含共聚物，该共聚物具有来源于苯乙烯及苯乙烯衍生物中的至少任意一种的结构单元。

13.根据权利要求1～12中任意一项所述的图案形成材料，其中，

粘合剂的玻璃化转变温度在80℃以上。

14.一种图案形成装置，其特征在于，

具备权利要求1～13中任意一项所述的图案形成材料，

至少具有：可照射光的光照射机构；和调制来自该光照射机构的光并对所述图案形成材料中的感光层进行曝光的光调制机构。

15.一种图案形成方法，其特征在于，

至少包括对权利要求1～13中任意一项所述的图案形成材料中的该感光层进行曝光的工序。

16.根据权利要求15所述的图案形成方法，其中，

曝光是基于要形成的图案信息而生成控制信号后，使用根据该控制信号进行调制的光进行的。

17.根据权利要求15或16所述的图案形成方法，其中，

曝光是在利用光调制机构调制光之后，经由排列有微透镜的微透镜阵列来进行的，所述微透镜具有可修正所述光调制机构中的描绘部的射出面的变形引起的像差的非球面。

18.根据权利要求17所述的图案形成方法，其中，

非球面为复曲面。