[发明专利]弹性表面波元件和弹性表面波装置

权利要求书

1.一种弹性表面波元件，包括：

压电基板；和

具有电极指的IDT电极，其形成在所述压电基板的主面上；

所述电极指通过将多个导体层层叠而形成，其中所述多个导体层包括 第一导体层和与该第一导体层的材料不同材料的第二导体层；

所述第一导体层，在与所述电极指的长度方向正交的面的截面形状具 有沿着接近压电基板的方向变宽的梯形形状；

所述第二导体层，在与所述电极指的长度方向正交的面的截面形状具 有沿着接近压电基板的方向变宽的梯形形状；

所述第一导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度与所述第 二导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度不同并且这两个角度 之差为10°～20°的范围。

2.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，

所述电极指的所述第一导体层的材料的热膨胀系数与所述第二导体 层的材料的热膨胀系数不同。

3.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，

所述第二导体层由具有比所述第一导体层更大的热膨胀系数的材料 形成；

所述第一导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度形成为比 所述第二导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度更大。

4.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，

所述第一导体层以接触的方式形成在所述压电基板的主面上；

所述第二导体层形成在所述第一导体层上；

所述第二导体层由具有比所述第一导体层更小的热膨胀系数的材料 形成；

所述第一导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度形成为比 所述第二导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度更小。

5.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，

所述第一导体层以接触的方式形成在所述压电基板的主面上；

所述第二导体层形成在所述第一导体层上；

所述第一导体层的与所述第二导体层对置的截面的宽度形成为比所 述第二导体层的与所述第一导体层对置的截面的宽度更大。

6.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，

所述第一导体层以接触的方式形成在所述压电基板的主面上；

所述第二导体层形成在所述第一导体层上；

由与所述第一导体层相同的材料形成的第三导体层形成在所述第二 导体层上；

由与所述第二导体层相同的材料形成的第四导体层形成在所述第三 导体层上；

所述第三导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度形成为与 所述第一导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度相同；

所述第四导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度形成为与 所述第二导体层的侧面与所述压电基板的主面所成的角度相同。

7.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，

所述第一导体层的截面形状和所述第二导体层的截面形状通过干蚀 刻法制作。

8.根据权利要求1所述的弹性表面波元件，其中，

所述IDT电极的电极指由保护膜覆盖。

9.根据权利要求8所述的弹性表面波元件，其中，

所述保护膜由与形成所述电极指的导体层中具有最大的热膨胀系数 的导体层相比，具有更小的热膨胀系数的材料形成。

10.根据权利要求8所述的弹性表面波元件，其中，

所述保护膜形成在所述IDT电极上；

所述保护膜包含Ti、Cr、Nb、Pd、Cu和Ni中的至少一种作为材料。

11.一种弹性表面波装置，在安装基板上安装有权利要求1所述的弹 性表面波元件。