[发明专利]热导率测定方法及装置、以及气体成分比例测定装置

权利要求书

1.一种热导率测定方法，其特征在于，

使用支持在空中并设置在气氛气体中的微加热器，

根据对所述微加热器施加的功率Ph及这时的加热器温度Th及周围温度To，计算根据所述微加热器的散热系数C[＝Ph/(Th-To)]，

按照测量温度T的所述气氛气体的热导率λ_(T)与所述散热系数C的比例关系[C＝K·λ_(T)]，并根据所述计算出的散热系数C，求出所述气氛气体的热导率λ_(T)。

2.如权利要求1所述的热导率测定方法，其特征在于，

所述测量温度T是作为所述加热器温度Th与周围温度To的平均温度求出的。

3.如权利要求1所述的热导率测定方法，其特征在于，

关于所述测量温度T的所述气氛气体的热导率λ_(T)与散热系数C的比例关系[C＝K·λ_(T)]，是看做为从所述微加热器向气氛气体的平均热导率h与该气氛气体的热导率λ成正比，而与气氛气体的温度边界层的厚度d成反比，作为使用所述气氛气体的所述测量温度T的热导率λ_(T)、以基准气体的热导率及其温度边界层的厚度为基准求出的所述气氛气体的温度边界层的厚度d、以及所述微加热器的散热面积S来表示所述散热系数C的关系式[C＝2·(λ_(T)/d)·S]求出的。

4.一种热导率测定装置，其特征在于，具有：

支持在空中并设置在气氛气体中的微加热器；

求出该微加热器的温度Th的加热器温度检测单元；

测量所述微加热器的周围温度To的温度传感器；

对所述微加热器进行通电加热的电源；

根据由该电源提供的所述微加热器的通电功率Ph、这时的加热器温度Th及周围温度To，计算出根据所述微加热器的散热系数C的散热系数运算单元；

根据所述加热器温度Th及周围温度To，求出所述气氛气体的测量温度的测量温度计算单元；以及

根据所述测量温度T的所述气氛气体的热导率λ_(T)与所述散热系数C的比例关系[C＝K·λ_(T)]，从用所述散热系数运算单元计算出的散热系数C，求出所述测量温度T的所述气氛气体的热导率λ_(T)的热导率运算单元。

5.如权利要求4所述的热导率测定装置，其特征在于，

所述加热器温度检测单元，根据标准温度的所述微加热器的电阻值Rstd；以及由利用所述电源对所述微加热器进行通电加热时的驱动功率Ph及通电电流Ih、或者端子电压Vh及通电电流Ih求出的加热器的电阻值Rh，来计算出加热器温度Th。

6.如权利要求5所述的热导率测定装置，其特征在于，

所述热导率运算单元参照将测量温度T的所述气氛气体的热导率λ_(T)与散热系数C的比例关系进行登录的表格，求出与用所述散热系数运算单元求出的散热系数C相对应的热导率λ_(T)。

7.如权利要求5所述的热导率测定装置，其特征在于，

所述测量温度计算单元作为所述加热器温度Th与周围温度To的平均温度，求出所述测量温度T。

8.如权利要求5所述的热导率测定装置，其特征在于，

还具有使对所述微加热器施加的功率Ph变化、而使加热器温度Th变化的测量条件变更单元。

9.一种气体成分比例测定装置，其特征在于，具有：

使用权利要求8所述的热导率测定装置分别求出在互相不同的加热器温度下的气氛气体的热导率λ_(T)的单元；以及

根据所述各加热器温度下的热导率λ_(T)的联立方程式，来解析所述气氛气体的组成比的解析单元。