[发明专利]垂直探针卡和空气冷却探针头系统有效
申请号: | 200680035220.1 | 申请日: | 2006-07-25 |
公开(公告)号: | CN101273275A | 公开(公告)日: | 2008-09-24 |
发明(设计)人: | M·L·安德森;E·A·麦劳德;S·莫斯塔谢德;M·A·卡索洛 | 申请(专利权)人: | 夸利陶公司 |
主分类号: | G01R31/02 | 分类号: | G01R31/02 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 温大鹏 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 垂直 探针 空气冷却 系统 | ||
1、一种探针卡,通常被安装成垂直于受测装置,包括:
a)印刷电路板,
b)尖端组件,包括在电路板一端上用于接合受测装置的多个探针尖端,
c)在电路板的相对端上的多个电触点,
d)电路板上的导电图形,用于将电路板一端上的尖端电连接到电路板相对端上的电触点,和
e)紧固件,用于将受测装置上方的支承件与大致垂直对准了受测装置的印刷电路板相接合。
2、如权利要求1所述的探针卡,其特征在于,受测装置是半导体晶片。
3、如权利要求1所述的探针卡,其特征在于,尖端组件包括用于多个尖端的陶瓷支承件。
4、如权利要求3所述的探针卡,进一步包括:
f)多个贯穿电路板以促进空气流动的开口。
5、如权利要求4所述的探针卡,其特征在于,紧固件包括与支承件中的插口相匹配的突起连接件。
6、如权利要求1所述的探针卡,其特征在于,紧固件包括与支承件中的插口相匹配的突起连接件。
7、一种探针头,通常被安装到受测装置上方,包括:
a)印刷电路板,
b)尖端组件,包括在电路板一端上用于接合受测装置的多个探针尖端,
c)在电路板的相对端上的多个电触点,
d)电路板上的导电图形,用于将电路板一端上的尖端电连接到电路板相对端上的电触点,和
e)紧固件,用于将受测装置上方的支承件与大致垂直对准了受测装置的印刷电路板相接合,和
f)安装组件,其上支撑了印刷电路板,并包括用于接合第一紧固件的第二紧固件。
8、如权利要求7所述的探针头,其特征在于,安装组件包括用于可支撑地接合轨道支撑结构的装置。
9、如权利要求8所述的探针头,其特征在于,安装组件及印刷电路板包括若干开口以促进来自轨道支撑结构的冷空气的流动。
10、如权利要求9所述的探针头,其特征在于,安装组件包括用于手动调节印刷电路板在安装组件上的定位的装置。
11、如权利要求10所述的探针头,其特征在于,安装组件包括:用于接收印刷电路板的第一支撑框架;用于第一支撑框架的第二支撑框架且其允许第一支撑框架沿一轴线的运动;和用于第二支撑框架的第三支撑框架且其允许第二支撑框架沿第二及第三运动轴的运动;以及用于帮助沿该三轴线运动的手动操作旋钮。
12、如权利要求1所述的探针头,其特征在于,支撑框架包括若干开口用于空气流动。
13、一种强制空气冷却探针头组件,用于在加热的环境中,将探针卡安装为在受测装置之上并与之大致垂直,包括:
a)探针头,包括印刷电路板,在印刷电路板一端上的尖端组件,在印刷电路板相对端上的多个触点,以及将尖端组件与多个触点互连的导电图形,和
b)轨道组件,用于将探针头支撑到加热的测试台之上,该轨道组件包括用于空气流动的至少一个通道和用于将空气导向探针头的若干开口,由此来自加热测试台的热空气的对流可以被扰乱和冷却。
14、如权利要求13所述的强制空气冷却探针头组件,进一步包括由轨道组件所支撑的、并耦接到多个触点的柔性电缆。
15、如权利要求14所述的强制空气冷却探针头组件,其特征在于,探针头进一步包括用于调节印刷电路板位置的手动操作的旋钮,这些旋钮被空气流动所冷却。
16、如权利要求15所述的强制空气冷却探针头组件,其特征在于,探针头进一步包括:用于接收印刷电路板的第一支撑框架;用于第一支撑框架的第二支撑框架且其允许第一支撑框架沿一轴线的运动;用于第二支撑框架的第三支撑框架且其允许第二支撑框架沿第二和第三运动轴线的运动;以及用于帮助沿该三个轴线运动的手动操作旋钮。
17、如权利要求16所述的强制空气冷却探针头组件,其特征在于,支撑框架包括用于空气流动的多个开口。
18、如权利要求17所述的强制空气冷却探针头组件,其特征在于,轨道组件内的若干开口将空气导向支撑框架及其中的开口,以促进空气流动。
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