[发明专利]用于检查基板的表面的测量装置和测量系统

权利要求书

1.一种用于检查基板(190)的表面的测量装置，具有：

测量头(110)，所述测量头具有：传感器(111)，用于检测所述表面；在所述传感器(111)旁侧设置的气动件(112)，所述气动件包括入口(115)和至少一个向下取向的出口(114)；

面定位系统(220)，设置用来将测量头(110、210)精确地定位在所述基板(190)之上的x-y平面内；以及

压力空气生成装置(250)，所述压力空气生成装置与入口(115、215)气动地耦合，从而在用压力空气加载气动件(112、212)时，所述测量头(110、210)可以预设的高度定位在所述基板(190)上方。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其中，附加地具有耦合装置(130、230)，所述耦合装置设置在所述面定位系统(220)与所述测量头(110、210)之间。

3.根据权利要求2所述的测量装置，其中，所述耦合装置(130)这样地构造，即所述测量头(110)可沿着垂直于x-y平面的z方向至少在确定的移动范围内自由移动。

4.根据权利要求2至3中任一项所述的测量装置，其中，所述耦合装置(130)这样地构造，即至少在确定的角度范围内所述测量头(110)可围绕轴线(VP)自由倾斜，所述轴线(VP)平行于x-y平面取向。

5.根据权利要求4所述的测量装置，其中，所述耦合装置具有：

上耦合件(331)，所述上耦合件与所述气动件刚性地连接；以及

下耦合件(333)，所述下耦合件通过铰接的悬置装置与所述上耦合件(331)连接。

6.根据权利要求5所述的测量装置，其中，所述铰接的悬置装置包括至少两个杆(332a、332b)，所述杆的上端部与所述上耦合件(331)以及所述杆的下端部与所述下耦合件(333)分别在球形件(334)中连接。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的测量装置，其中，所述气动件(112)围绕所述传感器(111)设置。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的测量装置，其中，所述至少一个出口(114)是空气喷嘴，所述空气喷嘴被这样地构造，即喷出的空气的速度达到至少接近音速。

9.根据权利要求1至8中任一项所述的测量装置，其中，所述传感器(111)具有光学的、电容的和/或感应式的传感器件。

10.一种用于检查基板的表面的测量系统，具有：

至少两个根据权利要求1至9中任一项所述的测量装置(100)，所述测量装置这样地彼此设置，即各个传感器沿着测量行设置。