[发明专利]双音叉型压电振动元件及压力传感器

权利要求书

1.一种双音叉型压电振动元件，其具有：压电元件，其具有并联地分离配置的两个臂部、和分别支撑该各臂部的两端的第一和第二支撑部；以及激励用电极，其形成在上述各臂部的表面上，其特征在于，

通过用环状连接设置片将上述第一和第二支撑部之间连接起来设置，来将上述两个臂部配置在上述环状连接设置片的内部空间内。

2.一种压力传感器，其具有：权利要求1所述的双音叉型压电振动元件；以及第一和第二薄膜基板，它们通过分别接合在该双音叉型压电振动元件的表背两面侧，来气密密封上述两个臂部，其特征在于，

上述第一和第二薄膜基板通过分别接合在上述双音叉型压电振动元件的环状连接设置片的表背两面，而在形成于该环状连接设置片的内部空间中的气密空间内，以上述两个臂部不与上述气密空间的内壁接触的状态收纳上述两个臂部。

3.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

上述第一和第二薄膜基板具有：在上述双音叉型压电振动元件的两个臂部的表背两面侧分别分离地对置配置的板状部；和设置在该各板状部的外周缘、且分别紧贴在上述环状连接设置片的表背两面的环状较厚部。

4.根据权利要求2所述的压力传感器，其特征在于，

上述环状连接设置片比上述两个臂部要厚，

上述第一和第二薄膜基板由在上述双音叉型压电振动元件的两个臂部的表背两面侧分别分离地对置配置的平板状的板状部构成，该各板状部的沿着外周缘的内侧面分别紧贴在上述较厚的环状连接设置片的表背两面上。

5.根据权利要求2至4中的任一项所述的压力传感器，其特征在于，

在上述第一和第二薄膜基板的各外侧面，形成有用于在压力施加时使拉伸应力集中在上述两个臂部的凹部。