[发明专利]正型感光性树脂组合物

权利要求书

1、一种正型感光性树脂组合物，其特征在于，相对于100质量份具有下述通式(1)表示的重复单元的羟基聚酰胺，其含有1～50质量份光致产酸剂、0.01～70质量份萜烯化合物，

式中，X₁是具有至少2个以上碳原子的4价有机基团，X₂、Y₁、和Y₂各自独立地是具有至少2个以上碳原子的2价有机基团，m是2～1000的整数，n是0～500的整数，m/(m+n)＞0.5，此外，含有X₁和Y₁的m个二羟基二酰胺单元以及含有X₂和Y₂的n个二酰胺单元的排列顺序是任意的。

2、如权利要求1所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，萜烯化合物是具有选自由醇性羟基、羰基、羧基、酯基以及醚基组成的组中的至少一个官能团的化合物。

3、如权利要求2所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，萜烯化合物是具有选自由醇性羟基、羧基以及酯基组成的组中的至少一个官能团的化合物。

4、如权利要求1～3任意一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，萜烯化合物是链状萜烯。

5、如权利要求1～4任意一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，萜烯化合物是含有选自由香茅酸和芳樟醇组成的组中的任意一个化合物和具有选自由醇性羟基、羧基以及酯基组成的组中的任意一个官能团的化合物的至少2种化合物的混合物。

6、如权利要求1～5任意一项所述的正型感光性树脂组合物，其特征在于，光致产酸剂是具有重氮萘醌结构的化合物。

7、一种固化凸纹图案的制造方法，其特征在于，(1)以层或膜的形式在基板上形成权利要求1～6任意一项所述的正型感光性树脂组合物，(2)隔着掩模用化学射线对该基板进行曝光，或者直接照射光线、电子射线或离子射线，(3)用显影液溶解除去曝光部或照射部，(4)对得到的凸纹图案进行加热处理。

8、一种半导体装置，其特征在于，其具有利用权利要求7所述的制造方法得到的固化凸纹图案层。