[发明专利]分析多层材料中元素成分和厚度

权利要求书

1. 一种方法，用于在由多层材料构成的多层结构中建立多层材料的元素组成的表面密度，所述方法包括：

利用渗透放射照射已知元素成分的定标样本；

校准至少第一和第二X射线特有荧光线路的绝对强度，所述特有荧光线路由多层结构中至少一层中的单个或两个元素的定标样本所发出；

利用渗透放射照射所述多层结构；

检测从所述多层中散发的荧光放射；

确定在每个所述第一和第二特有荧光线路上的荧光强度；

基于在所述第一和第二特有荧光线路的能量上的吸收的已知函数相关性，分别解决所述层的表面密度和由于覆盖层的吸收；以及

针对所述多层结构的第二层，重复所述解决步骤。

2. 根据权利要求1的方法，其中所述解决的步骤包括一层一层的用于表面密度和吸收的连续的解决方案。

3. 根据权利要求1的方法，进一步包括用这样的方式通过所述元素组成的已知密度来分割层的表面密度从而获得所述层的厚度。

4. 一种用于计算机系统上的计算机程序产品，用于在由多层材料构成的堆中建立多层材料的元素组成的表面密度，所述计算机程序产品包括具有计算机可读程序代码的计算机可使用媒介，所述计算机可读程序代码包括：

用于校准至少一对X射线特有荧光线路的绝对强度的程序代码，所述特有荧光线路由通过一束渗透放射线所照射的定标样本所发出；以及

基于在所述第一和第二特有荧光线路的能量上的吸收的已知函数相关性，用于分别解决所述层的表面密度和由于覆盖层的吸收的程序代码。