[发明专利]旋转卡盘

权利要求书

1.一种旋转卡盘，其包括：

可旋转的旋转头，其上放置有基底；

驱动单元，其被配置为使所述旋转头旋转；

主轴，其被配置为连接所述驱动单元和所述旋转头；以及

固定支架，其安装在所述旋转头的边缘处并设置于与所述基底的平台区相对应的位置；所述固定支架包括板以及基座，所述基座用于从所述旋转头的顶面支撑所述板，所述板包括接触面以及曲面，所述接触面与所述平台区的平台面相接触，所述曲面与所述基底具有相同的圆周并与所述平台区形状相同；所述板与所述基底具有相同厚度，所述板由所述基座支撑，以使得所述板从所述旋转头的顶面与所述基底具有相同的高度；所述板的形状随着置于所述旋转头上的所述基底的平台区的形状与尺寸而改变，所述固定支架安装在置于所述旋转头上的所述基底的平台区处，使得所述基底形成完好的圆形，以防止所述平台区引起的涡流。

2.根据权利要求1所述的旋转卡盘，其中，所述旋转卡盘还包括安装于所述旋转头的上边缘处的固定元件，以用来固定所述基底的下边缘和侧面。

3.根据权利要求2所述的旋转卡盘，其中，所述旋转卡盘还包括可旋转地安装于所述主轴内部的背部喷嘴单元，以用于向所述基底的背面注射化学物质。

4.一种旋转卡盘，其包括：

可旋转的旋转头，其上放置有基底，所述基底具有带有多个平台面的边缘；

驱动单元，其被配置为使所述旋转头旋转；

主轴，其被配置为连接所述驱动单元和所述旋转头；以及

多个固定支架，其安装在所述旋转头的边缘处并分别设置于与所述基底的所述多个平台面相对应的位置；所述多个固定支架的每一个包括板以及基座，所述基座用于从所述旋转头的顶面支撑所述板，所述板包括接触面以及曲面，所述接触面与所述平台面相接触；所述板与所述基底具有相同厚度，所述板由所述基座支撑，以使得所述板从所述旋转头的顶面与所述基底具有相同高度；所述板的形状随着置于所述旋转头上的所述基底的平台面的形状与尺寸而改变；所述多个固定支架安装在置于所述旋转头上的所述基底的所述多个平台面处，所述板的所述曲面使得所述基底形成完好的圆形。

5.根据权利要求4所述的旋转卡盘，还包括：

背部喷嘴单元，其可旋转地安装于所述主轴的内部，以向所述基底的背面注射化学物质。

6.根据权利要求4所述的旋转卡盘，其中，所述基底是用于等离子显示器(PDP)、液晶显示器(LCD)、场致发射显示器(FED)以及有机发光器件(OLED)的矩形板基底。