[发明专利]用于测量图像的设备和方法有效
申请号: | 200680039122.5 | 申请日: | 2006-10-16 |
公开(公告)号: | CN101292359A | 公开(公告)日: | 2008-10-22 |
发明(设计)人: | 李相允;崔二培;姜珉求;林双根 | 申请(专利权)人: | 英泰克普拉斯有限公司 |
主分类号: | H01L27/146 | 分类号: | H01L27/146;H04N5/335 |
代理公司: | 北京润平知识产权代理有限公司 | 代理人: | 周建秋;王凤桐 |
地址: | 韩国大*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 测量 图像 设备 方法 | ||
1.一种使用由光学系统采集的图像来测量被测目标的三维图像的设备, 该设备包括:
CCD相机,用于采集目标并输出所采集的图像;
灯,用于产生光线来照明所述目标的采集区域;
照明控制器,用来控制灯的开启;
由光栅形成的投影光栅;
投影光栅驱动单元,用于调节所述投影光栅与目标之间的距离;
图像采集装置,用于获得由所述CCD相机采集的图像;
驱动信号产生器,用于根据从所述CCD相机产生的启动信号,同时将 驱动信号输出到所述照明控制器、投影光栅驱动单元和图像采集单元;以及
图像信号处理器,用于根据从所述图像采集单元传输的数据来估算所述 目标的三维图像。
2.根据权利要求1所述的测量被测目标的三维图像的设备,其中所述 驱动信号产生器包括:
存储器,用于存储控制所述驱动信号的产生所必需的参考数据;
数模转换器;
低通滤波器,用于从所述数模转换器输出的信号以及由所述图像采集装 置获得的信号中消除高频分量;以及
信号产生器,用于产生驱动信号。
3.一种使用由光学系统采集的图像来测量被测目标的三维图像的方法, 该方法包括:
从CCD相机检测启动信号;
将驱动信号同时输出到用于开启灯以将光线投射到所述目标上的照明 控制器、用于调节所述目标和投影光栅之间距离的投影光栅控制器、以及用 于将所述CCD相机采集的图像传输到图像信号处理器的图像采集单元;
通过重复检测和输出来存储相移干涉图案;
确定所述目标的采集是否完成;以及
当确定所述采集是否完成的结果是确定采集完成时,使用多个所存储的 干涉图案信息来获得所述三维图像。
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H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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