[发明专利]用于使表面平坦化的组合物及方法

权利要求书

1.一种用于抛光在表面上具有含铜膜的基板的化学-机械抛光组合物，其包含：

(a)0.01重量％至20重量％的α-氧化铝颗粒，其中所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的平均直径，且80％的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径；

(b)有机酸；

(c)腐蚀抑制剂；及

(d)水。

2.权利要求1的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的平均直径，且90％的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径。

3.权利要求2的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒具有100nm或更小的平均直径，且95％的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径。

4.权利要求3的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒具有100nm或更小的平均直径，且90％的所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的直径。

5.权利要求1的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒以0.1重量％至5重量％的量存在。

6.权利要求5的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒以0.3重量％至1重量％的量存在。

7.权利要求1的抛光组合物，其中该抛光组合物具有3至10的pH。

8.权利要求1的抛光组合物，其中该腐蚀抑制剂选自1，2，3-三唑、1，2，4-三唑、苯并三唑、苯并咪唑、苯并噻唑及其混合物。

9.权利要求1的抛光组合物，其中该有机酸选自丙二酸、丁二酸、己二酸、乳酸、苹果酸、柠檬酸、甘氨酸、天冬氨酸、酒石酸、葡萄糖酸、亚氨基二乙酸及反丁烯二酸。

10.权利要求9的抛光组合物，其中该有机酸为酒石酸。

11.权利要求1的抛光组合物，其进一步包含氧化剂，该氧化剂选自溴酸盐、亚溴酸盐、氯酸盐、亚氯酸盐、过氧化氢、次氯酸盐、碘酸盐、单过氧硫酸盐、单过氧亚硫酸盐、单过氧磷酸盐、单过氧连二磷酸盐、单过氧焦磷酸盐、有机-卤-氧基化合物、过碘酸盐、高锰酸盐、过氧乙酸及其混合物。

12.一种用于抛光在表面上具有含铜膜的基板的化学-机械抛光组合物，其包含：

(a)0.01重量％至20重量％的α-氧化铝颗粒；

(b)有机酸；

(c)三唑和苯并三唑的双重腐蚀抑制剂，其中该三唑与苯并三唑的重量百分比之比为0.1至4.8；及

(d)水。

13.权利要求12的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的平均直径，且80％的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径。

14.权利要求13的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的平均直径，且90％的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径。

15.权利要求14的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒具有100nm或更小的平均直径，且95％的所述α-氧化铝颗粒具有500nm或更小的直径。

16.权利要求15的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒具有100nm或更小的平均直径，且90％的所述α-氧化铝颗粒具有200nm或更小的直径。

17.权利要求12的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒以0.1重量％至5重量％的量存在。

18.权利要求17的抛光组合物，其中所述α-氧化铝颗粒以0.3重量％至1重量％的量存在。

19.权利要求12的抛光组合物，其中该抛光组合物具有3至10的pH。

20.权利要求12的抛光组合物，其中该有机酸选自丙二酸、丁二酸、己二酸、乳酸、苹果酸、柠檬酸、甘氨酸、天冬氨酸、酒石酸、葡萄糖酸、亚氨基二乙酸及反丁烯二酸。

21.权利要求20的抛光组合物，其中该有机酸为酒石酸。