[发明专利]压电执行器及其制造方法无效
申请号: | 200680039823.9 | 申请日: | 2006-10-20 |
公开(公告)号: | CN101356661A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | M·施罗德;M·韦格尔 | 申请(专利权)人: | 欧陆汽车有限责任公司 |
主分类号: | H01L41/24 | 分类号: | H01L41/24;H01L41/083 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 卢江;刘春元 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 压电 执行 及其 制造 方法 | ||
1.用于制造压电执行器(1)的方法,包括下列方法步骤:
-设置多个能拼合成堆叠的压电材料层(2);
-将分别具有空隙(4;4′)的电极层(3)施加在多个压电材料层(2)上, 使得在堆叠内形成压电材料层(2)和电极层(3)的交替序列,其中在堆叠中 以交替方式设置具有第一空隙区内的空隙(4)的第二电极层和具有不同于第一 空隙区的第二空隙区内的空隙(4′)的第一电极层;并且
-在空隙(4;4′)中设置卸载材料(5),所述卸载材料在烧结堆叠之后 具有电绝缘特性和不粘贴各个压电材料层(2)的特性,其中将在烧结堆叠时导 电颗粒扩散能力非常高的含有贵金属的糊剂(5)印刷在空隙(4;4′)中作为卸 载材料。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,分别将在烧结堆叠时导电 颗粒扩散能力低的含有贵金属的金属化糊剂(3)印刷在多个压电材料层(2) 上作为电极层。
3.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,金属化糊剂(3)是含有银 钯的糊剂。
4.根据权利要求1-3之一所述的方法,其特征在于,使用陶瓷绿膜作为压 电材料层(2)。
5.根据权利要求1-3之一所述的方法,其特征在于,在堆叠中具有第一角 区中的空隙(4)的每个第二电极层和具有与第一角区对角线相对的第二角区中 的空隙(4′)的每个设置于其间的第一电极层被构造。
6.根据权利要求1-3之一所述的方法,其特征在于,具有至少两个沿纵向 延伸的孔的压电执行器(1)被构造,其中在堆叠中以交替序列设置一个孔的区 域内的第一空隙区的空隙(4)和另一个孔的区域内的第二空隙区的空隙(4′), 其中所述孔分别能够与电接触相耦合。
7.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,含有贵金属的糊剂(5)是 含有银的糊剂。
8.压电执行器(1),
具有多个能拼合成堆叠的压电材料层(2);并且
具有电极层(3),所述电极层分别被施加在多个压电材料层(2)上,使 得在堆叠中形成压电材料层(2)和电极层(3)的交替序列;
其中在堆叠中以交替方式设置具有第一空隙区内的卸载空隙(6)的第二电 极层和具有不同于第一空隙区的第二空隙区(4′)内的卸载空隙(6′)的第一电 极层,
其中在空隙(4;4′)中设置卸载材料(5),所述卸载材料在烧结堆叠之后 具有电绝缘特性和不粘贴各个压电材料层(2)的特性,其中将在烧结堆叠时导 电颗粒扩散能力非常高的含有贵金属的糊剂(5)印刷在空隙(4;4′)中作为卸 载材料。
9.根据权利要求8所述的压电执行器(1),其特征在于,电极层(3) 由在烧结堆叠时导电颗粒扩散能力低的含有贵金属的金属化糊剂构成。
10.根据权利要求9所述的压电执行器(1),其特征在于,金属化糊剂是 含有银钯的糊剂。
11.根据权利要求8-10之一所述的压电执行器,其特征在于,将多个压电 材料层(2)构造为陶瓷绿膜。
12.根据权利要求8-10之一所述的压电执行器,其特征在于,堆叠中的每 个第二电极层具有第一角区内的卸载空隙(6),并且每个设置于其间的第一电 极层具有与第一角区对角线相对的第二角区内的卸载空隙(6′)。
13.根据权利要求8-10之一所述的压电执行器,其特征在于,压电执行 器(1)具有至少两个沿纵向延伸的孔,其中在堆叠中以交替序列设置一个孔的 区域内的卸载空隙(6)和另一个孔的区域内的卸载空隙(6′),其中所述孔能 够与电接触耦合。
14.根据权利要求8所述的压电执行器,其特征在于,含有贵金属的糊剂 (5)是含有银的糊剂。
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