[发明专利]等离子体反应器

权利要求书

1.一种等离子体反应器，其包括具有气体入口和气体出口的微波共振腔，用于将微波辐射传送到共振腔的波导，其中所述反应器还包括用于将包含离子的等离子体物流注入到共振腔的直流电等离子体炬，所述离子用于与从气体入口流到气体出口的气体反应。

2.根据权利要求1的反应器，其中直流电等离子体炬包括用于从等离子体源气体产生等离子体物流的器具，和用于将所述离子的源传送到等离子体物流的器具，所述离子的源用于碰撞到等离子体物流上而形成所述离子。

3.根据权利要求1或权利要求2的反应器，其中直流电等离子体炬被排列以便将离子通过气体入口注入共振腔。

4.根据权利要求3的反应器，其中直流电等离子体炬包括用于接收气体的器具，和用于将气体传送到等离子体物流以便与离子一起注入共振腔的器具。

5.根据权利要求1或权利要求2的反应器，其中共振腔包括其它入口，通过所述其它入口，将等离子体物流注入共振腔。

6.根据权利要求5的反应器，其中共振腔包括多个所述的其它入口，反应器包括多个所述的直流电等离子体炬，其各自被排列以便将等离子体物流通过相应的其它入口注入共振腔。

7.根据权利要求1或权利要求2的反应器，其中共振腔包括多个所述气体入口，通过所述气体入口，相应的气体物流进入共振腔。

8.根据权利要求1或权利要求2的反应器，其中共振腔是单模式共振腔，反应器包括用于在共振腔内形成电磁驻波的器具。

9.根据权利要求8的反应器，其中所述直流电等离子体炬或每一个直流电等离子体炬被这样设置，使得等离子体物流以电磁驻波的电场的最大值从其中注入所述腔。

10.根据权利要求1或权利要求2的反应器，其中共振腔是多模式共振腔。

11.根据权利要求1或权利要求2的反应器，其中微波的功率小于2kW。

12.根据权利要求1或权利要求2的反应器，其中微波的功率小于1kW。

13.一种用于处理来自加工工具的气体物流排出物的装置，所述装置包括根据前述权利要求中任一项的等离子体反应器。