[发明专利]用于检测电子束的多层检测器和方法

权利要求书

1.一种用于检测产生的电子束(106)的强度的检测器，其包括：

多层复合结构(104；200；300；400；500；600；608； 616；700；800)，其具有第一导电芯(110；402；502；504； 602；610；618；704；706；802)、形成在该第一导电芯上的 绝缘层(112；404；506；508；604；612；620；708；804) 以及电连接到足以影响在该检测器附近区域内从等离子抽出 电子的速率的电压电位并形成在该绝缘层上的外部导电层 (114；406；510；606；614；622；702；806)，其中所述绝 缘层形成为具有足够的厚度以防止等离子电子到达该导电芯， 所述等离子电子为该电子束的初级电子与空气中的分子相碰 撞而在该检测器附近区域内产生的次级电子，以及

支撑件(116)，其配置为在将由电子束发生器(102)产 生的电子束(106)的直接路径内，在该电子束发生器(102) 和目标区域(108)之间，将该复合结构设置为与电子束发生 器(102)对准。

2.根据权利要求1所述的检测器，其中该外部导电层(114；406； 510；606；614；622；702；806)连接到该检测器(104；200； 300；400；500；600；608；616；700；800)的接地电位。

3.根据权利要求1所述的检测器，其中该外部导电层(114；406； 510；606；614；622；702；806)围绕该导电芯(110；402； 502；504；602；610；618；704；706；802)。

4.根据权利要求1所述的检测器，其与电子束发生器(102)相 结合，该检测器包括：

用于沿路径发射电子束(106)的电子束发生器(102)； 以及

真空室(124)，在该室内设置有该电子束发生器(102) 的热丝(122)。

5.根据权利要求4所述的检测器，其与在目标区域(108)内把 持目标材料的支撑件(126)相结合，该检测器设置在该电子 束发生器(102)和该目标区域(108)之间。

6.根据权利要求4所述的检测器，其中该复合结构形成在该真空 室(124)的电子束出射窗口(128)上。

7.根据权利要求1所述的检测器，其包括：

电流计(132；206；208；412；512；514；714)，其用 于检测该导电芯(110；402；502；504；602；610；618；704， 706；802)内的电流，作为电子束强度的度量。

8.根据权利要求1所述的检测器，其包括：

形成为栅格的该复合结构(302)的阵列，以在该路径内 复数个位置的每个处检测该电子束(106)的强度。

9.根据权利要求7所述的检测器，其中该复合结构布置为相对于 该目标区域(108)内目标材料的期望传送方向成角度，并在 横断该电子束(106)路径的平面内。

10.根据权利要求1所述的检测器，其包括：

形成在该绝缘层(506；708)上的第二导电芯(504；704)； 以及

形成在该第二导电芯(504；704)上的第二绝缘层(508； 708)，其中该外部导电层(510；702)形成在该第二绝缘层(508； 708)上，从而该第二导电芯(504；704)和该第二绝缘层(508； 708)形成于第一导电芯(502；706)和该外部导电层(510； 702)之间。

11.根据权利要求10所述的检测器，沿该路径定向，从而沿该路 径产生的电子在接触该第一导电芯(502；706)之前经过该外 部导电层(510；702)和该第二导电芯(504；704)。

12.根据权利要求1所述的检测器，其包括：

多个导电芯(502，504；704，706)，其由绝缘层(506； 708)分开。