[发明专利]用于激光烧蚀的靶及其制造方法

权利要求书

1.一种激光烧蚀用靶，该激光烧蚀用靶包含由通式RE_aBa_bCu_cO_x(其中， RE为钇和/或稀土元素)表示的RE类氧化物超导烧结体，其中，a+b+c＝6， 0.95＜a＜1.05，1.505≤c/b＜1.6，该氧化物超导烧结体中含有的氧化物超导 晶粒的晶界，有氧化铜和/或含铜氧化物和/或Ba-Cu化合物的析出相存在。

2.权利要求1所述的激光烧蚀用靶，其中，上述氧化物超导晶粒与上述 析出相的存在比例为98∶2～85∶15的范围。

3.一种制造权利要求1或2所述的激光烧蚀用靶的方法，该方法包括以 下步骤：

称量并混合含有RE元素的原料、含有Ba的原料、含有Cu的原料，制 得混合物；

在含有10～30％氧的气氛中，在880℃～960℃下加热该混合物5～20小 时，得到预烧成粉末；

将该预烧成粉末压缩成形，得到成形体；

在含有10～30％氧的气氛中，在900℃～980℃下加热该成形体10～50 小时，得到RE类氧化物超导烧结体，

在称量并混合上述含有RE元素的原料、含有Ba的原料、含有Cu的原 料而制得混合物的步骤中，在将该原料中所含的RE元素的摩尔数设为α、 Ba的摩尔数设为β、Cu的摩尔数设为γ时，以满足α＝6-β-γ，0.95＜α＜ 1.05，1.6β＞γ≥1.505β地进行称量混合。

4.一种制造权利要求1或2所述的激光烧蚀用靶的方法，该方法包括以 下步骤：

称量并混合含有RE元素的原料溶液、含有Ba的原料溶液、含有Cu的 原料溶液，制得混合溶液；

沉淀步骤，通过湿式共沉淀法，从该混合溶液中沉淀出含有RE、Ba、 Cu各元素的混合物；

在含有10～30％氧的气氛中，在880℃～960℃下加热上述混合物5～20 小时，得到预烧成粉末；

将该预烧成粉末压缩成形，得到成形体；

在含有10～30％氧的气氛中，在900℃～980℃下加热该成形体10～50 小时，得到RE类氧化物超导烧结体，

称量并混合上述含有RE元素的原料溶液、含有Ba的原料溶液、含有 Cu的原料溶液而得到混合溶液的步骤中，在将该原料溶液中所含的RE元素 的摩尔数设为α、Ba的摩尔数设为β、Cu的摩尔数设为γ时，以满足α＝6 -β-γ，0.95＜α＜1.05，1.6β＞γ≥1.505β地进行称量混合。

5.权利要求3或4中所述的激光烧蚀用靶的制造方法，其中，该方法包 括以下步骤：

在含有10～30％氧的气氛中，在880℃～960℃下加热该预烧成粉末5～50 小时，得到烧成粉末；

粉碎该烧成粉末，使烧成粉末的中值粒径为20μm以下；

对该粉碎得到的烧成粉末进行压缩成形而得到成形体。

6.权利要求3至5中任一项所述的激光烧蚀用靶的制造方法，其中， 在加热所述成形体而制得RE类氧化物超导烧结体的步骤中，加热结束后的 降温过程时，将气氛的氧分压设定为21％以上。