[发明专利]铈系研磨材料有效
| 申请号： | 200680040308.2 | 申请日： | 2006-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN101321841A | 公开（公告）日： | 2008-12-10 |
| 发明（设计）人： | 瓜生博美;内野义嗣 | 申请（专利权）人： | 三井金属鉱业株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 冯雅 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 材料 | ||
【权利要求书】：
1.铈系研磨材料，其特征在于，它是相对于全部稀土类氧化物(TREO)的 氧化铈的含量为90质量％以上的铈系研磨材料，相对于研磨材料总量，含有 0.01～2.0质量％的选自Ti及原子序号80以下的5族～12族的元素的至少1 种的特定元素；以激光衍射·散射法测得的D50值计达到0.5～5μm；
所述铈系研磨材料是经过焙烧研磨材料原料的焙烧工序且在所述焙烧工 序之前将所述特定元素的金属或者化合物与所述研磨材料原料混合后制得。
2.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征在于，特定元素由选自原 子序号22～30的元素的至少1种元素构成。
3.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征在于，特定元素为Fe和/ 或Zn。
4.如权利要求1～3中任一项所述的铈系研磨材料，其特征在于，氟含量 为0.5质量％以下。
5.如权利要求1所述的铈系研磨材料，其特征在于，通过BET法测定的 比表面积为0.6～10m2/g。
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