[发明专利]物品收纳用容器的防振机构

权利要求书

1.一种物品收纳用容器的防振机构，其特征在于：具有，

物品收纳用容器，该物品收纳用容器通过行驶的搬运装置沿规定路径进行搬运，并具有支撑被搬运物品的搁片构件，和

弹性构件，该弹性构件在所述搬运装置运作时，抑制所述容器受到的振动向所述搁片构件传递，

所述搁片构件在其上下各端面上具有多个突起，

所述物品收纳用容器在其上下各面的规定处具有所述突起可松嵌尺寸的孔，

所述各突起通过所述弹性构件分别支撑于相对应的所述孔。

2.如权利要求1所记载的物品收纳用容器的防振机构，其特征在于：

所述被搬运物品为晶片，

所述搁片构件为沿水平方向插拔自如地保持所述晶片的构件，

收纳所述搁片构件的容器为FOUP。

3.如权利要求1所记载的物品收纳用容器的防振机构，其特征在于：

所述搬运装置为在工序内或者工序间的环状轨道上行驶的悬垂式升降搬运装置。