[发明专利]使用样品间距的扫描探针显微镜方法和装置

权利要求书

1.一种从样本的特征的域获取数据的方法，所述方法包括：

执行测量扫描以定位所述域，其中将所述测量扫描的相邻行之间的步长 选择成不等于在垂直于所述测量扫描横穿的方向上特征的间距，所述测量扫 描使用不多于五个测量扫描行来定位所述域，以及

执行数据扫描以获取表示所述特征的数据。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述测量扫描使用不多于两个测 量扫描行来定位特征的所述域。

3.根据权利要求1所述的方法，其中所述数据扫描是仅沿着至少基本 上平行的数据获取行来执行的。

4.根据权利要求3所述的方法，其中所述数据扫描中的图像的纵横比 使得所述扫描行的方向上的比率的维度大于在垂直于所述扫描行的方向上 的比率的维度。

5.根据权利要求1所述的方法，其中所述测量扫描是沿着第一轴执行 的，并且其中所述数据扫描是沿着至少基本上垂直于所述第一轴的第二轴执 行的。

6.根据权利要求5所述的方法，其中在数据获取行之间的距离至少等 于沿着所述第一轴的所述特征域的所述间距的两倍。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括根据所述测量扫描确定所述数 据扫描的扫描区域的中心。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述确定步骤对从所述测量扫描 中获取的所述数据使用图案识别。

9.根据权利要求1所述的方法，其中在所述数据扫描之前仅执行单个 测量扫描。

10.一种操作包括具有悬臂的探针的扫描探针显微镜(SPM)的方法， 所述方法包括以下步骤：

将所述探针与样本接合，所述样本包括在扫描方向上具有第一间距以及 在与所述扫描方向成九十度的方向上具有第二间距的特征的域；

将测量扫描的相邻行之间的步长选择成不等于所述第一间距，沿着少于 所述样本的五行来执行所述样本的测量扫描，所述执行步骤包括提供在所述 小于五行中的相邻行之间所述探针与所述样本之间的相对移动，所述相对移 动基本上垂直于所述扫描方向。

11.根据权利要求10所述的方法，还包括：

基于所述测量扫描识别用于数据扫描的中心，所述中心在行中对应于至 少一个特征的中点，所述特征中点中心基本上对应于所述至少一个特征的最 深部分；

基于所述测量扫描执行所述数据扫描；

其中所述移动步骤提供了在所述探针与所述样本之间的相对移动，所述 移动是基本上不等于所述第一间距的所述第一间距的分数；以及，

其中所述识别步骤包括使用图案识别。

12.根据权利要求11所述的方法，其中所述测量扫描是与所述数据扫 描成90度来执行的。

13.根据权利要求10所述的方法，还包括以弯曲模式振荡所述探针。

14.根据权利要求13所述的方法，还包括以深沟槽模式振荡所述探针。

15.根据权利要求10所述的方法，其中所述执行步骤在小于一分钟内 完成。

16.根据权利要求15所述的方法，其中所述执行步骤在五秒钟内完成。

17.根据权利要求15所述的方法，还包括确定至少一个特征的特征维 度，其中所述特征维度具有三σ动态可重复率，该三σ动态可重复率小于所 述特征维度的大约2.0％与2.0nm之中的较大者。

18.根据权利要求17所述的方法，其中所述特征是沟槽电容器。