[发明专利]低辐射的覆盖玻璃及其应用

权利要求书

1.一种用于对辐射敏感的传感器的低辐射覆盖玻璃，特别是在半导体技术中，所述覆盖玻璃具有低的α固有辐射，包括选自铝硅酸盐玻璃、铝硼硅酸盐玻璃、硼硅酸盐玻璃，特别是不含碱金属的硼硅酸盐玻璃的玻璃组成成分，具有在＞0.1-10重量％，特别是1-8重量％范围内的TiO₂含量。

2.根据权利要求1所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，所述肽含量在1.5至7重量％，特别优选在2至6重量％，完全特别优选在3至5重量％的范围内。

3.根据权利要求1或2所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，所述覆盖玻璃具有α辐射为＜0.0020计数/cm²h，优选为＜0.0015计数/cm²h，特别优选为＜0.0013计数/cm²h。

4.根据前述权利要求1至3中至少一项所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，所述覆盖玻璃具有γ辐射为＜2.00Bq/g，优选为＜1.67Bq/g。

5.根据前述权利要求1至4中至少一项所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，所述玻璃组成成分具有K₂O含量为0-20重量％，特别是＞5-8重量％。

6.根据前述权利要求1至5中至少一项所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，所述玻璃组成成分选自下面的组成成分之一(在氧化物基础上的重量％)：

SiO₂           60-70重量％

Na₂O    1-10重量％

K₂O     0-20重量％，特别是＞5-8重量％，

ZnO     0-10重量％

Al₂O₃   0-10重量％

B₂O₃    0-10重量％

TiO₂    ＞0.1-10重量％，特别是1至8重量％，

Sb₂O₃   0-2重量％。

7.根据前述权利要求1至5中至少一项所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，所述玻璃组成成分选自下面的组成成分之一(在氧化物基础上的重量％)：

SiO₂    48-58重量％

BaO     10-30重量％

B₂O₃    1-15重量％

Al₂O₃   0-20重量％

As₂O₃   0-2重量％

SrO     0-3重量％

CaO     0-5重量％

其中BaO的1至2重量％被更换为TiO₂。

8.根据权利要求7所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，在所述玻璃组成成分中TiO₂含量为0.1-10重量％，特别是1至6重量％。

9.根据权利要求7所述的低辐射覆盖玻璃，其特征在于，所述使用的BaO不含有或基本上不含有镭。