[发明专利]一种用来测试测试样品的电属性的探针

权利要求书

1.一种用来测试测试样品的电属性的探针，所述探针包括：

主体，具有包括近端和与近端相对的远端的探针臂，所述探针臂在所述 探针臂的所述近端上，从所述主体延伸出来，主体还具有由所述近端和所述 远端限定出的第一轴，

所述探针臂具有几何部件，使所述探针臂能够沿着所述第一轴，并沿着 垂直于所述第一轴的第二轴，并沿着与所述第一轴和第二轴限定的平面正交 的第三轴弹性移动；

其中所述探针臂在所述第一、第二和第三轴的方向上限定基本上相等的 弹簧常数。

2.根据权利要求1的探针，其中所述探针臂是一种支撑结构，支撑接触 探针，以建立到所述测试样品上的电接触，支撑衬垫用于建立到测试设备上 的电接触，位于所述主体上或位于所述主体中的导电带用于建立所述接触探 针和所述衬垫之间的电接触。

3.根据权利要求1或2的探针，其中所述几何部件包括半圆形部件和/ 或正方形部件和/或矩形部件和/或三角形部件和/或它们的任意结合。

4.根据权利要求1或2的探针，其中所述几何部件包括两个连接起来以 限定一个角度的基本上为线性的部件。

5.根据权利要求4的探针，其中所述角度是90度。

6.根据权利要求1的探针，其中所述主体包括多个探针臂。

7.根据权利要求6的探针，其中所述多个探针臂限定相似的几何部件。

8.根据权利要求6的探针，其中所述多个探针臂限定至少两个不同的几 何部件。

9.根据权利要求1的探针，其中所述探针，当其位于指定的位置上时， 限定弹簧常数在投射到所述测试样品表面的平面上时基本上相等，或者限定 比例在1∶1到1∶20之间。

10.根据权利要求6的探针，其中所述多个探针臂中的每个臂均具有一 个L形几何部件。

11.一种用来测试测试样品的电属性的探针，所述探针包括：

具有第一平面表面的主体；

具有第一部件的探针臂，该第一部件具有近端、与近端相对的远端，所 述探针臂在所述探针臂的所述近端上，从主体延伸出来，由所述近端和所述 远端限定出第一轴，所述探针臂平行于所述第一平面表面延伸；

所述探针臂具有的几何部件使所述探针臂能够沿着所述第一轴，并沿着 垂直于所述第一轴的第二轴，并沿着与所述第一轴和第二轴限定的平面正交 的第三轴弹性移动；

其中所述臂与所述第一平面表面共平面关系放置；

其中所述探针臂在所述第一、第二和第三轴的方向上限定基本上相等的 弹簧常数。

12.根据权利要求11的探针，其中所述主体限定基本上与所述第一平面 表面正交的第二平面表面，所述探针臂从所述第二平面表面延伸出来。

13.根据权利要求11-12中任一项的探针，其中所述臂限定L形的几何 部件。