[发明专利]微细轴形成方法、利用该方法形成的微细轴及微细轴形成装置

权利要求书

1.一种微细轴的形成方法，其特征在于，包括如下工序：

提供用于加工成所述微细轴的电极的工序；

提供用于成形所述电极的成形材料的工序；

使所述电极以所述电极的长度方向的轴线为中心旋转的电极旋转工序；

为使所述电极和所述成形材料之间产生电火花而使用电火花加工电源向所述电极及所述成形材料供电的供电工序；

按照从所述成形材料的侧端一侧横切所述成形材料的方式使通过所述电极旋转工序旋转的所述电极移动的电极移动工序；

在所述电极移动工序中，使用在所述电极和所述成形材料之间产生的电火花在所述成形材料上形成槽的同时成形所述电极，从而形成所述微细轴的微细轴形成工序，

还包括缝隙形成工序，即在所述电极移动工序之前，预先沿着所述电极移动的方向在所述成形材料上形成缝隙。

2.如权利要求1所述的微细轴的形成方法，其特征在于，

所述成形材料由两个成形材料构成，所述缝隙作为所述两个成形材料间的间隙形成。

3.如权利要求2所述的微细轴的形成方法，其特征在于，所述两个成形材料彼此电绝缘。

4.如权利要求2所述的微细轴的形成方法，其特征在于，所述两个成形材料彼此电连接。

5.如权利要求1所述的微细轴的形成方法，其特征在于，在所述电极移动工序中，在与从所述成形材料的侧端一侧横切所述成形材料的方向不同的方向上，对所述电极追加副运动。

6.如权利要求5所述的微细轴的形成方法，其特征在于，所述副运动是所述电极相对于所述成形材料的上表面向垂直方向的往复运动。

7.如权利要求5所述的微细轴的形成方法，其特征在于，所述副运动是所述电极相对于所述成形材料的上表面向倾斜方向的往复运动。

8.如权利要求1所述的微细轴的形成方法，其特征在于，在所述电极移动工序中，在平行于所述成形材料的上表面的方向上，使所述电极相对于所述成形材料摆动运动。

9.如权利要求2所述的微细轴的形成方法，其特征在于，还包括：

测定所述两个成形材料之间的电火花频率的电火花频率测定工序；

控制所述电火花频率测定工序中测定得到的所述电火花频率彼此相等的电火花频率控制工序。

10.如权利要求9所述的微细轴的形成方法，其特征在于，所述电火花频率控制工序具备控制所述两个成形材料分别与所述电极的距离相等的距离控制装置。

11.如权利要求9所述的微细轴的形成方法，其特征在于，所述电火花频率测定工序是对所述两个成形材料中流过的电流分别进行检测的电流检测工序。

12.如权利要求2所述的微细轴的形成方法，其特征在于，在所述电极移动工序之前，还包括预先在所述两个成形材料之间进行电火花加工，将所述缝隙内面成形的缝隙电火花加工工序。

13.如权利要求2所述的微细轴的形成方法，其特征在于，包括：在所述微细轴形成工序之后的槽宽调节工序和在所述槽宽调节工序之后的再加工工序，其中，所述槽宽调节工序将所述成形材料的所述槽缩窄，所述再加工工序顺序进行所述电极旋转工序、所述供电工序、所述电极移动工序、所述微细轴形成工序。

14.如权利要求13所述的微细轴的形成方法，其特征在于，多次重复进行所述再加工工序。

15.一种微细轴的形成装置，其特征在于，具备：

用于加工成所述微细轴的电极；

用于成形所述电极的成形材料；

使所述电极以所述电极的长度方向的轴线为中心旋转的电极旋转机构；

为使所述电极和所述成形材料之间产生电火花而向所述电极及所述成形材料供电的电火花加工电源；

按照从所述成形材料的侧端一侧横切所述成形材料的方式使通过所述电极旋转机构旋转的所述电极移动的电极移动机构，

在所述电极移动机构动作时，使用在所述电极和所述成形材料之间产生的电火花，在所述成形材料上形成槽的同时成形所述电极，从而形成所述微细轴，

所述成形材料上具备预先沿着所述电极移动的方向在所述成形材料上形成的缝隙。