[发明专利]作为分析具有成角度形貌的衬底的AFM探针的Y－形碳纳米管

权利要求书

1.一种Y-形碳纳米管原子力显微镜探针针头，包括：

杆部；

从所述杆部的同一端延伸的一对成角度的臂，

其中所述杆部和所述一对成角度的臂包括化学修饰的碳纳米管，以及

其中所述化学修饰的碳纳米管是利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个修饰的，其中所述化学修饰的碳纳米管适合于允许氟气体流经所述化学修饰的碳纳米管到待特征化的衬底上。

2.根据权利要求1所述的探针针头，其中每对所述成角度的臂包括至少200nm的长度。

3.根据权利要求1或2所述的探针针头，其中每对所述成角度的臂包括10到200nm之间的直径。

4.根据权利要求1所述的探针针头，其中所述化学修饰的碳纳米管适应于待探测衬底材料之间的区别。

5.根据权利要求1所述的探针针头，其中所述化学修饰的碳纳米管适合与待特征化的衬底进行化学反应。

6.一种形成Y-形碳纳米管原子力显微镜探针针头的方法，所述方法包括：

形成所述探针针头的杆部；

从所述杆部的同一端延伸一对成角度的臂，其中所述杆部和所述一对成角度的臂包括碳纳米管；以及

利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个化学修饰所述碳纳米管；以及，

使所述化学修饰的碳纳米管适合于允许氟气体流经所述化学修饰的碳纳米管到待特征化的衬底上。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括使所述化学修饰的碳纳米管适合与待特征化的衬底进行化学反应。 

8.一种执行原子力显微术的方法，所述方法包括：

将化学修饰的碳纳米管附接到原子力显微镜探针，以形成探针针头，其中所述碳纳米管被配置为Y-形，所述化学修饰是利用胺、羧基、氟和金属成分的任一个进行的；以及

使用化学修饰的Y-形碳纳米管探针针头分析衬底表面；以及

使氟气体经由所述化学修饰的碳纳米管流到待特征化的衬底上。