[发明专利]探针支架及探针单元

权利要求书

1.一种探针支架，其收容多个探针，该多个探针通过与电路构造接触，在与所述电路构造之间分别进行电信号的输入输出，所述探针支架的特征在于，具备：

前端部，其保持所述多个探针；

基端部，其支撑所述前端部；

挠曲产生机构，其夹在所述前端部和所述基端部之间，且产生所述前端部的相对于所述基端部的挠曲。

2.根据权利要求1所述的探针支架，其特征在于，

所述挠曲产生机构的至少一部分与所述前端部及所述基端部一体地成形，且呈板厚比所述前端部及所述基端部薄的梁状。

3.根据权利要求1或2所述的探针支架，其特征在于，

所述挠曲产生机构包含：连结所述前端部和所述基端部的弹性部件。

4.根据权利要求3所述的探针支架，其特征在于，

所述弹性部件为一个或多个板簧。

5.一种探针单元，其特征在于，具备：

多个探针，其通过与电路构造接触，在与所述电路构造之间分别进行电信号的输入输出；

探针支架，其具有保持所述多个探针的前端部、支撑所述前端部的基端部、及夹在所述前端部与所述基端部之间且产生所述前端部的相对于所述基端部的挠曲的挠曲产生机构；

6.根据权利要求5所述的探针单元，其特征在于，

所述挠曲产生机构的至少一部分与所述前端部及所述基端部一体地成形，且呈板厚比所述前端部及所述基端部薄的梁状。

7.根据权利要求5所述的探针单元，其特征在于，

所述挠曲产生机构包含：连结所述前端部与所述基端部的弹性部件。

8.根据权利要求7所述的探针单元，其特征在于，

所述弹性部件为一个或多个板簧。

9.根据权利要求5～8中任一项所述的探针单元，其特征在于，

所述探针包括：

配线，其形成于片状的基材的表面；

接触部，其配设于所述配线的一方的端部且与所述电路构造直接接触。