[发明专利]微波等离子体消除设备

权利要求书

1.一种微波等离子体消除设备，包括微波发生器、用于接收来自微波发生器的微波能量并在其中利用该微波能量产生等离子体的气体腔室、用于监控没有在气体腔室内吸收的微波能量的量的装置，和根据来自监控装置的输出调节微波发生器产生的微波能量的功率的装置。

2.根据权利要求1的设备，其中监控装置包括用于检测从气体腔室反射的微波能量的功率的装置。

3.根据权利要求2的设备，其中检测装置被设置在波导内，该波导用于将来自微波发生器的微波辐射传送到气体腔室。

4.根据权利要求2或者3的设备，其中检测装置被设置在位于气体腔室和微波发生器之间的隔离器内。

5.根据上述任一权利要求的设备，其中调节装置被配置为周期性地调节微波发生器产生的微波能量的功率。

6.根据上述任一权利要求的设备，其中气体腔室具有接收气体流的气体入口和气体出口，并且其中调节装置被配置为响应于进入气体腔室的气体流的变化调节微波发生器产生的微波能量的功率。

7.根据权利要求6的设备，其中调节装置被配置为响应于进入气体腔室的气体流的质量流速的变化调节微波发生器产生的微波能量的功率。

8.根据权利要求6或者7的设备，其中调节装置被配置为响应于进入气体腔室的气体流的成分的变化调节微波发生器产生的微波能量的功率。

9.根据上述任一权利要求的设备，其中调节装置被配置为改变微波发生器产生的微波能量的功率，当所述功率变化时监控所述输出，并根据监控的输出确定微波发生器产生的微波的最佳功率。

10.根据上述任一权利要求的设备，其中调节装置被配置为调节微波发生器产生的微波能量的功率，以最小化没有在气体腔室内吸收的微波能量的量，同时保持该设备的气体破坏效率在预定水平或者高于预定水平。

11.一种用于处理从多个处理腔室排放的气体的微波等离子体消除设备，该设备包括微波发生器、用于将来自微波发生器的微波能量传送给气体腔室的波导，该气体腔室用于接收所述气体并在其中利用微波能量产生等离子体、用于在气体腔室内所述气体的处理过程中检测没有在气体腔室内吸收的微波能量的量的检测器，和根据来自检测器的输出调节微波发生器产生的微波能量的功率的控制器。

12.根据权利要求11的设备，其中控制器被配置为调节微波发生器产生的微波能量的功率，以最小化没有在气体腔室内吸收的微波能量的所述量，同时保持该设备的气体破坏效率在预定水平或者高于预定水平

13.根据上述任一权利要求的设备，其中气体腔室包括微波谐振腔。

14.一种操作微波等离子体消除设备的方法，该设备包括微波发生器和用于接收来自微波发生器的微波能量并在其中利用微波能量产生等离子体的气体腔室，该方法包括以下步骤：监控没有在气体腔室内吸收的微波能量的量，并根据没有吸收的微波能量的量调节微波发生器产生的微波能量的功率。

15.根据权利要求14的方法，其中监控从气体腔室反射的微波能量的功率，并根据反射的功率调节微波发声器产生的微波能量的功率。

16.根据权利要求14或者15的方法，其中周期性地调节微波发生器产生的微波能量的功率。

17.权利要求14至16的任一项的方法，其中气体腔室具有接收气体流的气体入口和气体出口，响应于进入气体腔室的气体流的变化调节微波发生器产生的微波能量的功率。

18.根据权利要求17的方法，其中响应于进入气体腔室的气体流的质量流速的变化调节微波发生器产生的微波能量的功率。

19.根据权利要求17或者18的方法，其中响应于进入气体腔室的气体流的成分的变化调节微波发生器产生的微波能量的功率。

20.根据权利要求14至19的任一项的方法，其中改变微波发生器产生的微波能量的功率，当所述功率变化时监控没有在气体腔室内吸收的微波能量的量，并根据没有吸收的微波能量的量确定微波发生器产生的微波的最佳功率。