[发明专利]将前体层转换成光伏吸收体的方法和装置

权利要求书

1.一种按照预定温度分布处理衬底的列式反应器，该反应器包 含：

衬底入口；

衬底出口；

在所述衬底入口和所述衬底出口之间的一系列室，每个室包括：

上体，

下体，

在所述上体与所述下体之间形成的间隙，其中，所述间隙具 有宽度、高度和长度，每个室的最窄宽度与最窄高度之比至少是 15，并且该系列室中的每一个的间隙与该系列室中的其它室的间隙 对准，和

温度控制器，用于根据预定温度分布调节所述间隙内的温度， 以使在至少一些室的间隙内存在不同温度；

通过该系列室的每个间隙将衬底从所述衬底入口移动到所述衬 底出口的机构；和

至少一个气体入口，配置成将气体输送到相应至少一个室的间隙 中，

其中，相邻室由缓冲区分开。

2.根据权利要求1所述的反应器，其中，至少一个室内的间隙 高度随着它的宽度而变。

3.根据权利要求2所述的反应器，其中，至少一个室内的间隙 高度随着它的长度而变。

4.根据权利要求1所述的反应器，其中，至少一个室内的间隙 高度随着它的长度而变。

5.根据权利要求1所述的反应器，其中，至少一些室内的间隙 高度是不同的。

6.根据权利要求1所述的反应器，其中，每个室内的间隙高度 基本相同。

7.根据权利要求1所述的反应器，其中，所述温度控制器控制 加热元件和冷却元件。

8.根据权利要求1所述的反应器，其中，该机构包括分别用于 供应和接收柔性箔状衬底的供应辊和接收辊。

9.根据权利要求1所述的反应器，进一步包含容纳该系列室和 该机构的辅助外壳。

10.根据权利要求1所述的反应器，进一步包括与用于将Se和 S中的至少一种供应给间隙的气体入口连接的含Se气体和含S气体中 的至少一种。

11.根据权利要求1所述的反应器，其中，包含所述气体入口的 至少一个室内的间隙高度高于不包含任何气体入口的相邻室。

12.根据权利要求1所述的反应器，其中，该系列室中的每一个 进一步包括间隙入口、间隙出口、间隙入口密封件、间隙出口密封件、 和第二机构，该第二机构使所述上体和下体在打开位置和关闭位置之 间作相对运动，以使当处在所述打开位置时，由所述第一机构移动衬 底，并且当处在所述关闭位置时，由所述间隙入口密封件和所述间隙 出口密封件密封所述间隙。

13.根据权利要求12所述的反应器，其中，至少一个气体出口 与所述室中的一个室相联系，并被配置成当该一个室处在所述关闭位 置时，从所述一个室的间隙中除去气体。

14.根据权利要求12所述的反应器，其中，所述温度控制器控 制加热元件和冷却元件。

15.根据权利要求12所述的反应器，其中，该机构包括分别用 于供应和接收柔性箔状衬底的供应辊和接收辊。

16.根据权利要求12所述的反应器，进一步包含容纳该系列室 和该机构的辅助外壳。

17.根据权利要求16所述的反应器，其中，该机构包括分别用 于供应和接收柔性箔状衬底的供应辊和接收辊。

18.根据权利要求12所述的反应器，进一步包括与用于将Se 和S中的至少一种供应给间隙的气体入口连接的含Se气体和含S气 体中的至少一种。