[发明专利]微小机电装置

权利要求书

1.一种微小机电装置，其特征在于，包括振动子元件，在该振动子元件的衬底上具有多个电极和配置有间隔空间而与所述电极相对并通过静电驱动进行振动的梁，作为信息的高频信号被输入到所述电极和所述梁中的某一者，参考频率信号输入到另一者，所述梁对输入的所述高频信号和所述参考频率信号进行混合而从所述电极输出所述高频信号与所述参考频率的差分频率的信号。

2.根据权利要求1所述的微小机电装置，其特征在于，配置有多个所述振动子元件，所述多个振动子元件针对输入所述振动子元件的高频信号而并联连接。

3.根据权利要求2所述的微小机电装置，其特征在于，所述并联连接的振动子元件的共振频率分布在需要的频率的范围内。

4.根据权利要求1所述的微小机电装置，其特征在于，包括两个以上的与所述梁相对并驱动梁的输入电极。

5.根据权利要求2所述的微小机电装置，其特征在于，包括两个以上的与所述梁相对并驱动梁的输入电极。

6.根据权利要求3所述的微小机电装置，其特征在于，包括两个以上的与所述梁相对并驱动梁的输入电极。

7.根据权利要求1所述的微小机电装置，其特征在于，包括两个以上的与所述梁相对并提取出来自梁的输出的输出电极。

8.根据权利要求2所述的微小机电装置，其特征在于，包括两个以上的与所述梁相对并提取出来自梁的输出的输出电极。

9.根据权利要求3所述的微小机电装置，其特征在于，包括两个以上的与所述梁相对并提取出来自梁的输出的输出电极。

10.根据权利要求1所述的微小机电装置，其特征在于，所述梁的除了与所述电极相对的部分以及用于对该梁施加直流电压和通过信号的配线以外的部分由绝缘体形成。

11.根据权利要求1所述的微小机电装置，其特征在于，在所述振动子元件的输出侧增加了一个或多个第二静电驱动型振动子元件。

12.根据权利要求1所述的微小机电装置，其特征在于，所述微小机电装置被构成作为信号混频滤波器。

13.根据权利要求11所述的微小机电装置，其特征在于，所述微小机电装置被构成作为信号混频滤波器。

14.根据权利要求12所述的微小机电装置，其特征在于，所述信号混频滤波器在所述微小机电装置所包括的交流信号输入端子与所述电极或所述梁之间配置有电容而使信号通过，所述信号混频滤波器在所述微小机电装置所包括的交流信号输出端子与所述电极或所述梁之间配置有电容而使信号通过。

15.根据权利要求13所述的微小机电装置，其特征在于，所述信号混频滤波器在所述微小机电装置所包括的交流信号输入端子与所述电极或所述梁之间配置有电容而使信号通过，所述信号混频滤波器在所述微小机电装置所包括的交流信号输出端子与所述电极或所述梁之间配置有电容而使信号通过。

16.根据权利要求12所述的微小机电装置，其特征在于，所述混频滤波器处理平衡输入、平衡输出的信号。

17.根据权利要求13所述的微小机电装置，其特征在于，所述信号混频滤波器处理平衡输入、平衡输出的信号。

18.根据权利要求12所述的微小机电装置，其特征在于，所述信号混频滤波器栅格状地连接共振器，处理平衡输入、平衡输出的信号。

19.根据权利要求13所述的微小机电装置，其特征在于，所述信号混频滤波器栅格状地连接共振器，处理平衡输入、平衡输出的信号。