[发明专利]MEMS开关触点系统

权利要求书

1.一种MEMS开关，包括：

第一触点；和

第二触点，其可相对于第一触点移动；

所述第一触点和第二触点中至少一个是导电的并且包括基于铂系的材料。

2.如权利要求1所述的MEMS开关，其中所述基于铂系的材料包括铂系元素。

3.如权利要求1所述的MEMS开关，其中所述基于铂系的材料是基于铂系的钝化物。

4.如权利要求1所述的MEMS开关，其中所述第一和第二触点中的至少一个包括基于铂系的元素和导电的钝化物。

5.如权利要求4所述的MEMS开关，其中所述基于铂系的元素包括钌，并且所述导电的钝化物包括二氧化钌。

6.如权利要求1所述的MEMS开关，进一步包括封装，其包含所述MEMS开关的至少一部分，该封装包括吸除位点。

7.如权利要求6所述的MEMS开关，其中该封装包括帽盖，其具有支撑暴露的铂系元素的内部表面。

8.如权利要求6所述的MEMS开关，其中该封装密封所述第一和第二触点。

9.一种MEMS装置，包括：

衬底；

第一触点；和

具有第二触点的可移动构件，其相对于所述衬底移动，所述衬底支撑该可移动构件；

所述第一触点和第二触点中的至少一个具有导电的基于铂系的材料，其在接触另一个电触点时提供电连接。

10.如权利要求9所述的MEMS装置，进一步包括用于使所述可移动构件移动到与所述第一触点接触的致动器，该致动器包括静电致动器、电磁致动器或热致动器中的一种。

11.如权利要求9所述的MEMS装置，其中所述基于铂系的材料包括铂系元素。

12.如权利要求9所述的MEMS装置，进一步包括支撑所述第一触点的第一构件，所述基于铂系的材料是与所述第一构件或所述可移动构件中一个直接接触的基于铂系的氧化物。

13.如权利要求9所述的MEMS装置，其中所述第一和第二触点中至少一个包括基于铂系的元素和导电氧化物。

14.如权利要求9所述的MEMS装置，进一步包括封装，其包含所述MEMS装置至少一部分，该封装具有氧吸除位点。

15.如权利要求14所述的MEMS装置，其中所述氧吸除位点包括基于铂系的元素。

16.一种MEMS开关，包括：

用于生成电触点的第一装置；和

用于生成电触点的第二装置，所述第二电触点装置能相对于所述第一电触点装置移动；

所述第一电触点装置和第二电触点装置中的至少一个是导电的并且包括基于铂系的材料。

17.如权利要求16所述的MEMS开关，进一步包括用于吸除开关内的氧的装置。

18.如权利要求16所述的MEMS开关，其中所述第一和第二电触点装置每个包括电触点。

19.如权利要求16所述的MEMS开关，其中所述基于铂系的材料包括基于铂系的元素。

20.如权利要求19所述的MEMS开关，其中所述基于铂系的材料进一步包括导电的钝化物。