[发明专利]F/θ镜头和带有该镜头的扫描装置有效

专利信息
申请号: 200680045976.4 申请日: 2006-10-05
公开(公告)号: CN101438195A 公开(公告)日: 2009-05-20
发明(设计)人: A·福斯;M·胡翁克;R·布吕斯特勒 申请(专利权)人: 通快激光两合公司
主分类号: G02B13/00 分类号: G02B13/00;G02B26/08
代理公司: 永新专利商标代理有限公司 代理人: 侯鸣慧
地址: 德国施*** 国省代码: 德国;DE
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摘要:
搜索关键词: 镜头 带有 扫描 装置
【权利要求书】:

1.一种扫描装置(12),用于大功率激光射线,具有至少一个平面的 扫描镜(18,19),用于使激光射线偏转并具有一个在光路中跟随在该扫 描镜后面的F/θ镜头(1),用于在平面的像场中聚焦大功率激光射线,其 特征在于,该镜头(1)具有正好两个在光路中前后布置的透镜(2,3), 至少一个透镜(3)具有一个或两个非球面的透镜面(8),所有透镜(2, 3)由在1kW以上的激光射线功率时稳定的合成的石英玻璃制成,该光路 中的跟随在扫描镜(18,19)后面的第一透镜(2)是一个近似半球形弯曲 的弯月透镜(2),一个波前修正光具在光路中设置在F/θ镜头(1)前面并 位于扫描镜(18,19)之前,用于部分地修F/θ镜头(1)的球面像差, 所述波前修正光具具有一个准直透镜(15)或为球面准直透镜和相位修正 板的组合,以在扫描范围上平均提供改善的成像质量,其中该准直透镜具 有一个或两个非球面的透镜面。

2.如权利要求1所述的扫描装置,其特征在于,该光路中跟随在扫描 镜后面的第二透镜是一个具有非球面的透镜面(8)的聚焦透镜(3)。

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