[发明专利]振动控制质量体

权利要求书

1.一种振动控制质量体(100、200)，其用于具有可移动体的 平台单元中以便控制与所述可移动体的移动相关联的振动，所述振动 控制质量体包括：

由多个部件(10、20、70)组成的振动控制质量体主体部分， 所述多个部件分别由钨合金制成，所述钨合金含有大于或等于80质 量％并且小于或等于99质量％的钨作为主要成分；以及

连接部件(62、72)，其连接到作为平台单元的组件的线性引 导件(502)上并且厚度大于或等于5mm并且小于或等于50mm；其 中，

所述连接部件(62、72)由与所述振动控制质量体主体部分相 同的材料制成。

2.根据权利要求1所述的振动控制质量体(200)，其中，

所述多个部件呈大致长方体形状，并且通过组合所述长方体形 状的部件形成凹部。

3.根据权利要求1所述的振动控制质量体(100、200)，其中，

所述多个部件中的每一个部件的体积大于或等于540cm³并且小 于或等于2700cm³，并且所述多个部件中的每一个部件的重量大于 或等于10kg并且小于或等于50kg；并且

所述振动控制质量体主体部分的体积大于或等于2700cm³且小 于或等于54000cm³，并且所述振动控制质量体主体部分的重量大于 或等于50kg且小于或等于1000kg。

4.根据权利要求1所述的振动控制质量体(100、200)，其中，

所述钨合金含有：大于0质量％并且小于或等于18质量％的镍； 从铁、铜和钴构成的群组中选择的至少一种金属；以及不可避免的杂 质。

5.根据权利要求1所述的振动控制质量体(100、200)，其中，

所述多个部件(10、20、70)由螺钉(13、23、31、220)紧固。

6.根据权利要求1所述的振动控制质量体(100、200)，其中，

所述可移动体在保持掩模或基板的同时进行移动，并且所述平 台单元是曝光装置。